[发明专利]蚀刻液及其制备方法在审
| 申请号： | 202010773238.3 | 申请日： | 2020-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN111893488A | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 刘兆晶;孙朋;罗昌杰;魏伟;王志安 | 申请（专利权）人： | 深圳市乾行达科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16;C23F1/32 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 张杨梅 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区西乡街道凤*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于蚀刻技术领域，尤其涉及一种蚀刻液及其制备方法。本发明提供的蚀刻液包含有浓度大于或等于5g/L的蚀刻剂，蚀刻剂选自酸性盐或碱性盐；酸性盐选自磷酸二氢盐和/或硫酸氢盐；碱性盐选自碳酸盐、碳酸氢盐、亚硫酸盐、乙酸盐、磷酸盐和次氯酸盐中的至少一种。该蚀刻液可实现对金属材料的蚀刻，反应条件温和，速度可控，蚀刻精度高，且蚀刻表面光滑平整，适用于蚀刻金属箔片以及具有复杂外形的三维金属器件，保证产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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