[发明专利]蚀刻液及其制备方法

权利要求书

1.一种蚀刻液，其特征在于，包含有浓度大于或等于5g/L的蚀刻剂，所述蚀刻剂选自酸性盐或碱性盐；

所述酸性盐选自磷酸二氢盐和/或硫酸氢盐；

所述碱性盐选自碳酸盐、碳酸氢盐、亚硫酸盐、乙酸盐、磷酸盐和次氯酸盐中的至少一种。

2.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于，所述酸性盐选自磷酸二氢钠、磷酸二氢钾、磷酸二氢锂、硫酸氢钠、硫酸氢钾和硫酸氢锂中的至少一种；和/或

所述碱性盐选自碳酸钠、碳酸钾、碳酸锂、碳酸氢钠、碳酸氢钾、碳酸氢锂、亚硫酸钠、亚硫酸锂、亚硫酸钾、乙酸锂、乙酸钠、乙酸钾、磷酸钠、磷酸钾、磷酸锂、次氯酸锂、次氯酸钠和次氯酸钾中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于，所述蚀刻剂在所述蚀刻液中的浓度为5-300g/L。

4.根据权利要求1所述的蚀刻液，其特征在于，所述蚀刻液用于蚀刻两性金属；和/或

所述蚀刻液用于蚀刻厚度等于或小于0.1mm的金属箔片。

5.根据权利要求4所述的蚀刻液，其特征在于，所述两性金属选自铝金属或铝合金。

6.根据权利要求1至5任一项所述的蚀刻液，其特征在于，所述蚀刻液还包含有：浓度为0.5-5g/L的表面活性剂，以及浓度为0.1-5g/L的缓蚀剂。

7.根据权利要求6所述的蚀刻液，其特征在于，所述表面活性剂选自硬脂酸、十二烷基苯磺酸钠、十二烷基醇酰胺、三乙醇胺、苯扎氯铵中的至少一种；和/或

所述缓蚀剂选自铬酸钠、亚硝酸钠、硼酸钠、六次甲基四胺、乙二胺、三乙醇胺和十七酰胺中的至少一种。

8.根据权利要求6所述的蚀刻液，其特征在于，所述蚀刻液包括以下浓度组分：

磷酸二氢盐20-100g/L；

表面活化剂0.5-5g/L；

缓蚀剂0.1-2g/L。

9.根据权利要求1至5任一项所述的蚀刻液，其特征在于，所述蚀刻液的工作温度为20℃-50℃。

10.一种蚀刻液的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

提供蚀刻剂，所述蚀刻剂选自酸性盐或碱性盐，所述酸性盐选自磷酸二氢盐和/或硫酸氢盐，所述碱性盐选自碳酸盐、碳酸氢盐、亚硫酸盐、乙酸盐、磷酸盐和次氯酸盐中的至少一种；

将所述蚀刻剂溶解形成溶液，并使得所述蚀刻剂的浓度大于或等于5g/L。