[发明专利]清洗机清洗能力的检测方法和检测装置有效
| 申请号： | 202010753207.1 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111879542B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 蔡伟耀;卢健平 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M99/00 | 分类号： | G01M99/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 霍文娟 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供了清洗机清洗能力的检测方法和检测装置。该方法包括：检测晶圆的表面缺陷，得到初始缺陷信息；将晶圆暴露在无尘空间内第一预定时长，使得无尘空间内的微粒子吸附在晶圆的表面上，得到污染的晶圆；检测污染的晶圆的表面缺陷，得到污染缺陷信息；采用清洗机台对污染后的晶圆清洗；检测清洗后的晶圆的表面缺陷，得到清洗缺陷信息；根据初始缺陷信息、污染缺陷信息以及清洗缺陷信息确定清洗机台的清洗能力。该方法基本可以忽略无法去除的晶圆缺陷对清洗能力的影响，能够准确地检测清洗机台的清洗能力，并且，清洗后的晶圆也可以重复使用，降低了成本，避免了现有技术中的采用PSL标准乳胶球粒子检测方法导致的成本较高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 能力 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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