[发明专利]一种离子注入机的水冷式离子输送管在审
| 申请号： | 202010752451.6 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111863574A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 魏运秀 | 申请（专利权）人： | 赣州市业润自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/16 | 分类号： | H01J37/16;H01J37/317;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 341003 江西省赣州市赣州经济开发*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子注入机的水冷式离子输送管，包括外管、内管和两个管接头，外管包括一体成型的第一弧形管和分别设置在第一弧形管两端的两个第一直管；内管包括一体成型的第二弧形管和分别设置在第二弧形管两端的两个第二直管；管接头成型有直径依次减小的第一插孔、中间孔、第二插孔和通孔，管接头的外壁上成型有与中间孔相通的进出水孔；第一直管插套并固定在第一插孔内，第二直管插套并固定在第二插孔内；外管和内管形成的冷却腔的两端分别与两个管接头的中间孔相通。本发明将输送管设置成内管和外管，通过设置在内管和外管之间的冷却腔对内管进行冷却，可有效提高输送管的使用寿命并降低对其他机件的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 水冷 输送 | ||
【主权项】：
暂无信息
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