[发明专利]一种离子注入机的水冷式离子输送管在审
| 申请号： | 202010752451.6 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111863574A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 魏运秀 | 申请（专利权）人： | 赣州市业润自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/16 | 分类号： | H01J37/16;H01J37/317;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 341003 江西省赣州市赣州经济开发*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 水冷 输送 | ||
1.一种离子注入机的水冷式离子输送管，包括外管(1)、内管(2)和两个管接头(3)，其特征在于：所述外管(1)包括一体成型的第一弧形管(11)和分别设置在第一弧形管(11)两端的两个第一直管(12)；
所述内管(2)包括一体成型的第二弧形管(21)和分别设置在第二弧形管(21)两端的两个第二直管(22)；
所述管接头(3)成型有直径依次减小的第一插孔(31)、中间孔(32)、第二插孔(33)和通孔(34)，管接头(3)的外壁上成型有与中间孔(32)相通的进出水孔(35)；
所述第一直管(12)插套并固定在第一插孔(31)内，第二直管(22)插套并固定在第二插孔(33)内；所述外管(1)和内管(2)形成的冷却腔(102)的两端分别与两个管接头(3)的中间孔(32)相通。
2.根据权利要求1所述的一种离子注入机的水冷式离子输送管，其特征在于：所述冷却腔(102)内设有螺旋翅片(4)，螺旋翅片(4)的内壁固定在第二弧形管(21)的外壁上，螺旋翅片(4)的外壁与第一弧形管(11)的内壁之间留有间隙。
3.根据权利要求1所述的一种离子注入机的水冷式离子输送管，其特征在于：所述第二直管(22)的内径小于等于通孔(34)的内径。
4.根据权利要求1所述的一种离子注入机的水冷式离子输送管，其特征在于：所述第一直管(12)靠近第一弧形管(11)的端部成型有第一凸环(13)，所述管接头(3)靠近第一弧形管(11)的端部成型有第二凸环(36)，第一凸环(13)和第二凸环(36)通过多个螺钉固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种离子注入机的水冷式离子输送管，其特征在于：所述管接头(3)上成型有连接螺柱(37)。
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