[发明专利]一种紫外、可见与红外宽谱光电探测器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202010733216.4 申请日: 2020-07-27
公开(公告)号: CN111952387B 公开(公告)日: 2023-06-30
发明(设计)人: 王利明;尤杰;孙浩;张一弛;元磊;胡辉勇;王斌;韩本光;舒斌 申请(专利权)人: 西安电子科技大学
主分类号: H01L31/0352 分类号: H01L31/0352;H01L31/109;H01L31/18
代理公司: 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 代理人: 李园园
地址: 710000 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种紫外、可见与红外宽谱光电探测器及其制备方法,该制备方法包括:选取清洗完成的玻璃衬底;在所述玻璃衬底上制备电极阵列,所述电极阵列包括若干间隔排列的金属电极;将纳米纤维喷在制备有所述电极阵列的所述玻璃衬底上,以制备覆盖所述电极阵列的ZnO纳米线薄膜;将Ge量子点旋涂在所述ZnO纳米线薄膜上,以制备Ge量子点薄膜;在所述玻璃衬底的背面制备金属薄膜。本发明所制备的光电探测器具有ZnO纳米线与Ge量子点复合的结构,可以将两种材料的优势相结合,本发明采用低成本的方法实现了宽谱的探测。
搜索关键词: 一种 紫外 可见 红外 光电 探测器 及其 制备 方法
【主权项】:
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