[发明专利]一种紫外、可见与红外宽谱光电探测器及其制备方法有效
申请号: | 202010733216.4 | 申请日: | 2020-07-27 |
公开(公告)号: | CN111952387B | 公开(公告)日: | 2023-06-30 |
发明(设计)人: | 王利明;尤杰;孙浩;张一弛;元磊;胡辉勇;王斌;韩本光;舒斌 | 申请(专利权)人: | 西安电子科技大学 |
主分类号: | H01L31/0352 | 分类号: | H01L31/0352;H01L31/109;H01L31/18 |
代理公司: | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人: | 李园园 |
地址: | 710000 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种紫外、可见与红外宽谱光电探测器及其制备方法,该制备方法包括:选取清洗完成的玻璃衬底;在所述玻璃衬底上制备电极阵列,所述电极阵列包括若干间隔排列的金属电极;将纳米纤维喷在制备有所述电极阵列的所述玻璃衬底上,以制备覆盖所述电极阵列的ZnO纳米线薄膜;将Ge量子点旋涂在所述ZnO纳米线薄膜上,以制备Ge量子点薄膜;在所述玻璃衬底的背面制备金属薄膜。本发明所制备的光电探测器具有ZnO纳米线与Ge量子点复合的结构,可以将两种材料的优势相结合,本发明采用低成本的方法实现了宽谱的探测。 | ||
搜索关键词: | 一种 紫外 可见 红外 光电 探测器 及其 制备 方法 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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