[发明专利]一种紫外、可见与红外宽谱光电探测器及其制备方法

说明书

本发明公开了一种紫外、可见与红外宽谱光电探测器及其制备方法，该制备方法包括：选取清洗完成的玻璃衬底；在所述玻璃衬底上制备电极阵列，所述电极阵列包括若干间隔排列的金属电极；将纳米纤维喷在制备有所述电极阵列的所述玻璃衬底上，以制备覆盖所述电极阵列的ZnO纳米线薄膜；将Ge量子点旋涂在所述ZnO纳米线薄膜上，以制备Ge量子点薄膜；在所述玻璃衬底的背面制备金属薄膜。本发明所制备的光电探测器具有ZnO纳米线与Ge量子点复合的结构，可以将两种材料的优势相结合，本发明采用低成本的方法实现了宽谱的探测。

技术领域

本发明属于探测器技术领域，具体涉及一种紫外、可见与红外宽谱光电探测器及其制备方法。

背景技术

目前，大多数的光电探测器是基于PN结的光电检测二极管，宽光谱响应的光电探测器在图像传感、化学/生物传感、通信等领域得到了广泛的应用。紫外光和红外光的探测对于军事和民用上都有很大的市场，例如在紫外波段，可以实现对日盲区尾烟中释放的大量紫外辐射的飞行目标进行实时探测，在红外区，可以用于资源调查、环境监控、医学诊断、夜视成像等方面。

现如今市场上的宽谱光电探测器的制备成本较高，制备工艺比较复杂，需要投入大量的时间与精力来探索制备的方法。因此，提供一种制备成本低、简便成熟的方法来制备宽谱的光电探测器成为了亟待解决的问题。

发明内容

为了解决现有技术中存在的上述问题，本发明提供了一种紫外、可见与红外宽谱光电探测器及其制备方法。本发明要解决的技术问题通过以下技术方案实现：

一种紫外、可见与红外宽谱光电探测器的制备方法，包括：

选取清洗完成的玻璃衬底；

在所述玻璃衬底上制备电极阵列，所述电极阵列包括若干间隔排列的金属电极；

将纳米纤维喷在制备有所述电极阵列的所述玻璃衬底上，以制备覆盖所述电极阵列的ZnO纳米线薄膜；

将Ge量子点旋涂在所述ZnO纳米线薄膜上，以制备Ge量子点薄膜；

在所述玻璃衬底的背面制备金属薄膜。

在本发明的一个实施例中，选取清洗完成的玻璃衬底，包括：

选取所述玻璃衬底；

利用去离子水、乙醇、甲苯依次对所述玻璃衬底进行超声处理，得到清洗完成的所述玻璃衬底。

在本发明的一个实施例中，在所述玻璃衬底上制备电极阵列，包括：

利用蒸镀工艺在所述玻璃衬底上蒸镀电极阵列。

在本发明的一个实施例中，将纳米纤维喷在制备有所述电极阵列的所述玻璃衬底上，以制备覆盖所述电极阵列的ZnO纳米线薄膜，包括：

制备前驱体溶液；

吸取所述前驱体溶液，采用静电纺丝工艺将所述纳米纤维喷在制备有电极阵列的所述玻璃衬底上；

将所述纳米纤维进行退火处理，以制备覆盖所述电极阵列的ZnO纳米线薄膜，其中退火处理的温度为600℃、退火时间为4h。

在本发明的一个实施例中，制备前驱体溶液，包括：

将硝酸锌溶于DMF溶液中，得到第一混合溶液；

向所述第一混合溶液加入聚乙烯吡咯烷酮，并进行搅拌得到前驱体溶液。

在本发明的一个实施例中，将Ge量子点旋涂在所述ZnO纳米线薄膜上，以制备Ge量子点薄膜，包括：

制备Ge量子点；

利用正硅酸乙酯和乙醇制备第二混合溶液；