[发明专利]一种适用于半导体级单晶硅长晶炉的加热器及组装方法有效
| 申请号： | 202010716219.7 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN111763990B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 穆童;张熠;秦英谡;郑锴 | 申请（专利权）人： | 南京晶能半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 张弛 |
| 地址： | 210046 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种适用于半导体级单晶硅长晶炉的加热器，包括：石墨环、安装在石墨环上的若干石墨杆、安装在若干石墨杆上的石墨电极盘、安装在石墨电极盘上的两个石墨电极、石墨螺钉、若干石墨螺帽。本发明采用石墨杆和石墨环的连接方式代替了整块石墨的电极，大幅度节省了加热器的材料，可有效降低加热器成本。同时，石墨电极是从上方进入热场，避免了挥发物落在石墨电极处，有效避免了打火的发生。本发明同时提供了该加热器的组装方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 半导体 单晶硅 长晶炉 加热器 组装 方法 | ||
【主权项】：
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