[发明专利]一种适用于半导体级单晶硅长晶炉的加热器及组装方法

权利要求书

1.一种适用于半导体级单晶硅长晶炉的加热器，其特征在于，包括：石墨环、安装在石墨环上的若干石墨杆、安装在若干石墨杆上的石墨电极盘、安装在石墨电极盘上的两个石墨电极、石墨螺钉、若干石墨螺帽；

所述石墨环上设有若干下螺纹孔，每个石墨杆的下端设有下外螺纹，且该外螺纹通过螺纹配合一一对应的安装在螺纹孔中；

所述石墨电极盘设有若干上穿孔，每个石墨杆的上端设有上外螺纹，且该上外螺纹的上方穿过上穿孔，一个石墨螺帽与一个上外螺纹穿过上穿孔的部分通过螺纹配合安装固定；石墨杆挂在石墨电极盘上；

所述石墨杆为棒状杆结构，且若干个石墨杆平行且均匀的安装在石墨环上；石墨螺帽为不通孔的螺帽，石墨螺帽的一端为螺纹孔，另外一端为盲板，石墨杆的上外螺纹无法从螺帽中穿出使每个石墨杆在石墨电极盘于石墨环之间部分的长度一致；

石墨电极位于整个加热器结构内的最上方，每个石墨电极的下方设有石墨电极螺纹孔，石墨电极盘的两侧上均设有开孔，每个开孔均位于一个石墨电极螺纹孔下方，所述石墨螺钉自下而上穿过开孔并插入石墨电极螺纹孔内形成螺纹配合固定。

2.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于：所述石墨电极为圆柱棒状结构，并对称的安装在石墨电极盘的两侧。

3.根据权利要求1或2所述的加热器，其特征在于：每个石墨电极的下方设有若干个螺纹孔，每个石墨电极的下方安装有若干个石墨螺钉。

4.根据权利要求1所述的加热器，其特征在于：所述石墨电极盘上设有若干收容石墨螺帽的凹槽，所述石墨螺帽定位在凹槽中。

5.根据权利要求1至4中任一项所述加热器的组装方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)、先将石墨电极盘固定在一个中空的工装平台上；

(2)、将石墨电极通过石墨螺钉固定在石墨电极盘上，安装石墨螺钉时，用扭力扳手旋紧石墨螺钉，通过扭力扳手使每个石墨螺钉受力一样；石墨电极和石墨电极盘中间用石墨纸间隔；

(3)、将石墨杆与石墨螺帽连接，通过扭力扳手使每个石墨螺帽和石墨杆的扭力一致；

(4)、将安装好的石墨杆穿入石墨电极盘上的通孔内，将石墨杆挂在石墨电极盘上；

(5)、将石墨环固定在石墨杆下方，用扭力扳手将石墨杆分别拧在石墨环上；

(6)、将石墨电极盘抬高，使石墨杆通过石墨螺帽挂在石墨电极盘上。

6.根据权利要求5所述的组装方法，其特征在于：在长晶中，通过调整石墨杆的长度和粗细，进行电阻的调整。