[发明专利]氯盐碱性蚀刻废液电解再生提铜与负压逆流回收氨系统及工艺

摘要

本发明公开了一种氯盐碱性蚀刻废液电解再生提铜与负压逆流回收氨系统及工艺，其通过MOD电解装置对蚀刻废液进行电解将其中的铜离子还原为铜单质，产生的NH4Cl溶于再生液中，产生的NH3通过低温引射吸收和负压逆流回收氨制备形成氨水，能够通过MOD电解再生提铜与负压逆流回收氨弥补单独使用萃取再生循环系统或直接电解再生循环系统所存在的问题，补充了蚀刻液中损耗的NH4Cl和NH3，能够减少耗材，降低成本，使氨气得到回用；另引射管道混合器将氨气直接输送到蚀刻机，提升蚀刻能力，保证蚀刻速度。此外本申请所述系统结构简单，能够真正实现零排放、低成本的蚀刻液再生循环，达到PCB企业清洁生产、经济效益提高的目标。