[发明专利]氯盐碱性蚀刻废液电解再生提铜与负压逆流回收氨系统及工艺

权利要求书

1.一种氯盐碱性蚀刻废液电解再生提铜与负压逆流回收氨工艺，其特征在于，主要包括下述步骤：

S1：包括步骤S1-2，储存于蚀刻废液储存缸内的待处理蚀刻废液进入MOD电解装置并在其中进行电解反应，蚀刻废液中的铜离子被还原为单质铜，同时产生氯化铵和大量的游离氨气，其中单质铜后续经沉淀过滤取出，氯化铵直接溶解于待处理蚀刻废液中；

S2：步骤S1中MOD电解装置产生的游离氨气中的少部分通过引射管道混合器输送至在线碱性蚀刻生产线用蚀刻机的工序中，调整在线蚀刻工作液的pH值和ORP值；

S3：经步骤S1中MOD电解装置处理后的蚀刻废液进入再生液引射吸收装置并储存于其中；MOD电解装置产生的游离氨气中的剩余部分均进入再生液引射吸收装置内，且该剩余部分中的一部分被位于再生液引射吸收装置内的电解后再生液吸收溶解后形成蚀刻液再生子液；上述蚀刻液再生子液排放至再生子液调配桶内进行蚀刻液组分调配后，经再生子液储存缸后进入在线碱性蚀刻生产线所使用的工作蚀刻液中用于蚀刻工序；

S4：所述S3步骤中进入再生液引射吸收装置内的剩余部分游离氨气中的另外一部分，自再生液引射吸收装置挥发出来后进入负压逆流吸氨装置内，并被位于该负压逆流吸氨装置内的吸收液吸收溶解形成氨水；

S5：步骤S4中所形成的氨水一部分返回至再生子液调配桶内用于调配再生子液，所形成的氨水的另一部分返回至在线碱性蚀刻生产线所用工作蚀刻液中作为补充液使用。

2.根据权利要求1所述的氯盐碱性蚀刻废液电解再生提铜与负压逆流回收氨工艺，其特征在于，所述步骤S1中还包括步骤S1-1：

在线碱性蚀刻生产线所产生的蚀刻废液先经碱性蚀刻废液萃取再生工艺后，将所得萃取再生的蚀刻废液储存于蚀刻废液储存缸内形成待处理蚀刻废液；

或，在线碱性蚀刻生产线所产生的蚀刻废液储存于蚀刻废液储存缸内形成待处理蚀刻废液。

3.根据权利要求1所述的氯盐碱性蚀刻废液电解再生提铜与负压逆流回收氨工艺，其特征在于：所述步骤S2中，引射管道混合器通过在线碱性蚀刻生产线上设置的蚀刻机循环泵浦，该将蚀刻机循环泵浦抽取的蚀刻工作液与步骤S1中MOD电解装置产生的游离氨气中的少部分进行混合，稳定在线蚀刻工作液的pH值和ORP值。

4.根据权利要求1所述的氯盐碱性蚀刻废液电解再生提铜与负压逆流回收氨工艺，其特征在于：所述再生液引射吸收装置的缸体内的药液温度保持在20-30℃；且所述负压逆流吸氨装置的缸体内的药液温度保持在10-15℃。

5.根据权利要求1所述的氯盐碱性蚀刻废液电解再生提铜与负压逆流回收氨工艺，其特征在于：所述再生液引射吸收装置的缸体内设置有再生液电导率控制器，且所述负压逆流吸氨装置的缸体内设置有氨水电导率控制器，该再生液电导率控制器检测再生液引射吸收装置的缸体内药液的电导率，该氨水电导率控制器检测负压逆流吸氨装置的缸体内药液的导电率，当药液电导率参数达到管控标准后分别自动启动相应的排放阀将达标药液排放出来，直至缸体内药液液位达到低位后再自动补给相应的药液。

6.一种上述权利要求1至5中任一权利要求所述工艺所使用的氯盐碱性蚀刻废液电解再生提铜与负压逆流回收氨系统，其特征在于：包括MOD电解装置(1)、再生液引射吸收装置(2)和负压逆流吸氨装置(3)，

其中所述MOD电解装置(1)的进液口与储存蚀刻废液的装置的出液口连通，该MOD电解装置(1)的出液口与再生液引射吸收装置(2)的进液口连通，该MOD电解装置(2)的出气口中的一路与再生液引射吸收装置(2)的进气口连通，且该MOD电解装置(2)的出气口中的另一路经引射管道混合器(4)后和在线蚀刻工序用设备(5)连通；

其中所述再生液引射吸收装置(2)的出气口与所述负压逆流吸氨装置(3)的进气口连通，该负压逆流吸氨装置的出液口与一氨水储存桶连通(6)连通；所述再生液引射吸收装置(2)的出液口与一再生子液调配桶(7)连通，且该再生子液调配桶经一再生子液储存缸(8)后与在线蚀刻工序用设备(5)连通；所述氨水储存桶(6)分别与所述再生子液调配桶(7)和所述在线蚀刻工序用设备(5)连通。