[发明专利]一种超高真空气动插板阀

摘要

本发明涉及插板阀的减震技术领域，具体是一种超高真空气动插板阀，用于解决现有技术中插板阀在工作时会产生较大的振动和噪音的问题。本发明包括阀体和气动推进机构，所述气动推进机构包括气缸缸筒、气缸前端盖、气缸活塞、波纹管连接杆和气缸连接板，所述气缸连接板上安装有前缓冲机构，所述气缸活塞上靠近气缸前端盖的一侧安装有后缓冲机构；所述阀体包括封闭板、支撑板、球窝、连接板、钢球套和钢球，所述封闭板和支撑板间安装有多个减震机构。本发明中通过前缓冲机构和后缓冲机构可以有效的减少气动推进机构在关闭时的振动和噪音；通过减震机构可以减少钢球退回球窝内时阀芯的振动和噪音，从而可以从整体上降低该插板阀的振动和噪音。