[发明专利]一种超高真空气动插板阀

说明书

本发明涉及插板阀的减震技术领域，具体是一种超高真空气动插板阀，用于解决现有技术中插板阀在工作时会产生较大的振动和噪音的问题。本发明包括阀体和气动推进机构，所述气动推进机构包括气缸缸筒、气缸前端盖、气缸活塞、波纹管连接杆和气缸连接板，所述气缸连接板上安装有前缓冲机构，所述气缸活塞上靠近气缸前端盖的一侧安装有后缓冲机构；所述阀体包括封闭板、支撑板、球窝、连接板、钢球套和钢球，所述封闭板和支撑板间安装有多个减震机构。本发明中通过前缓冲机构和后缓冲机构可以有效的减少气动推进机构在关闭时的振动和噪音；通过减震机构可以减少钢球退回球窝内时阀芯的振动和噪音，从而可以从整体上降低该插板阀的振动和噪音。

技术领域

本发明涉及插板阀的减震技术领域，更具体的是涉及一种超高真空气动插板阀。

背景技术

插板阀是真空阀的一种用来调节气流量、切断或接通管路的元件。现有技术中的插板阀包括阀体和气动推进机构，阀体的相对两个外侧面安装有法兰，阀体具有两个共轴的阀口，在阀体内安装有阀芯，气动推进机构再通过连接机构与阀芯连接，往往通过气缸轴或铰链机构推动阀芯至阀口，然后通过凸轮顶紧封闭板封住阀口，此时流体不能通过管路；或者通过气缸轴或铰链机构带动阀芯远离阀口，此时流体可以通过管路，从而实现管路通断之作用。

现有技术中插板阀的阀芯包括封闭板和支撑板，封闭板和支撑板间设有两个相互平行的连接板，两个连接板间固定焊接有钢球套，钢球套内安装有两个钢球，封闭板和支撑板的相对面上均开有球窝，球窝呈锥形面，两个钢球封闭位于球窝内，封闭板上安装有封闭圈，两个连接板通过推动块连接有动力机构，连接板上远离动力机构的一端还连接有限位块，当动力机构推动两个连接板、钢球套和钢球作为一个整体向远离动力机构的方向移动时，钢球从钢球窝内被焊接在连接板上的钢球套逐步推出，封闭板和支撑板被钢球逐渐撑开，封闭板上的密封圈也会逐渐被压缩，当钢球最终被钢球套从球窝内推出到达封闭板和支撑板的平面上时，密封圈的压缩达到最大，从而起到插板阀的密封作用，流体不能通过；当钢球在动力机构的作用下从支撑板和封闭板的平面上退回到钢球窝内时，安装在封闭板上的密封圈不被压缩，此时插板阀处于打开状态，流体可以通过。

但是，当钢球从封闭板和支撑板的平面上退回到球窝内时，钢球会从封闭板和支撑板的平面上瞬时进入球窝内，这样会给封闭板和支撑板带来较大的冲击，从而使阀芯产生较大的噪音和振动。

现有技术中真空阀门的气动推进机构包括气缸、气缸连接筒、波纹管焊件，气缸的缸筒内安装有气缸活塞和气缸前端盖，波纹管焊件被波纹管连接杆穿过，且波纹管连接杆与气缸活塞轴连接，气缸连接筒是用不锈钢零件焊接而成。其中，波纹管连接杆与气缸活塞轴连接会使气动推进机构的整体长度比较长；气缸连接筒用不锈钢零件焊接而成，不但成本较高，而且后期需表面处理，生产周期较长；而且气缸内无任何缓冲装置，当关闭真空阀门时，气缸活塞会快速运动到气缸前端盖上，因惯性及碰撞的原因会产生较大的振动和噪音。

但是，现有技术中真空阀门的气动推进机构具有整体长度长、成本高、产生较大振动和噪音的问题。

综上，现有技术中的插板阀在工作时会产生较大的振动和噪音。因此，我们迫切的需要一种振动和噪音更小的插板阀。

发明内容

基于以上问题，本发明的目的在于提供一种超高真空气动插板阀，用于解决现有技术中插板阀在工作时会产生较大的振动和噪音的问题。本发明中通过前缓冲机构和后缓冲机构的双重缓冲机构可以有效的减少气动推进机构在关闭时的振动和噪音；通过减震机构可以减少钢球退回球窝内时阀芯的振动和噪音，从而可以从整体上降低该插板阀的振动和噪音。

本发明为了实现上述目的具体采用以下技术方案：