[发明专利]一种超高真空气动插板阀

权利要求书

1.一种超高真空气动插板阀，包括阀体(2)和气动推进机构(1)，其特征在于：所述气动推进机构(1)包括气缸缸筒(3)，所述气缸缸筒(3)内安装有气缸前端盖(10)和气缸活塞(12)，所述气缸活塞(12)上连接有波纹管连接杆(7)，所述波纹管连接杆(7)上连接有导向机构，所述气缸缸筒(3)的前端连接有气缸连接板(6)，所述气缸连接板(6)上靠近导向机构的一侧安装有前缓冲机构，所述气缸活塞(12)上靠近气缸前端盖(10)的一侧安装有后缓冲机构；所述阀体(2)包括封闭板(15)和支撑板(13)，所述封闭板(15)和支撑板(13)的相对面上均开有球窝(22)，所述封闭板(15)和支撑板(13)内设有相互平行的两个连接板(14)，两个所述连接板(14)间焊接有多个钢球套(18)，所述钢球套(18)内设有两个分别可位于封闭板(15)和支撑板(13)的球窝(22)内的钢球(19)，所述封闭板(15)和支撑板(13)间安装有多个减震机构；所述减震机构包括开在封闭板(15)和支撑板(13)相对面上的安装槽(21)，两个所述连接板(14)上均开有与安装槽(21)相互对应的腰形孔(141)，相对的两个所述安装槽(21)内分别安装有穿过腰形孔(141)的缓冲筒(16)，相对的两个所述缓冲筒(16)间安装有缓冲弹簧(17)，所述缓冲筒(16)内开有导向槽(162)，所述缓冲弹簧(17)安装在导向槽(162)内，所述缓冲筒(16)包括相互成型为一体的安装体(161)和导向体(163)，所述安装体(161)的直径大于导向体(163)的直径，所述安装体(161)上开有多个连接孔(1611)，所述安装体(161)通过穿过连接孔(1611)的螺钉与封闭板(15)或支撑板(13)连接。

2.根据权利要求1所述的一种超高真空气动插板阀，其特征在于：所述导向机构包括安装在波纹管连接杆(7)上的导向筒(4)，所述导向筒(4)的圆周面上安装有导向环(5)。

3.根据权利要求1所述的一种超高真空气动插板阀，其特征在于：所述前缓冲机构包括安装在气缸连接板(6)侧面的缓冲环(8)，所述缓冲环(8)上安装有前缓冲胶垫(9)。

4.根据权利要求3所述的一种超高真空气动插板阀，其特征在于：所述气缸连接板(6)与缓冲环(8)间通过螺钉连接，所述缓冲环(8)的侧面开有前安装槽(21)，所述前缓冲胶垫(9)安装在前安装槽(21)内。

5.根据权利要求1所述的一种超高真空气动插板阀，其特征在于：所述后缓冲机构包括安装在气缸活塞(12)上的后缓冲胶垫(11)，所述气缸活塞(12)的侧面开有后安装槽(21)，所述后缓冲胶垫(11)安装在后安装槽(21)内。

6.根据权利要求1所述的一种超高真空气动插板阀，其特征在于：两个所述连接板(14)的相对位置上均开焊接槽，所述钢球套(18)的两端均设有轴肩(182)，所述轴肩(182)安装在焊接槽内。

7.根据权利要求1所述的一种超高真空气动插板阀，其特征在于：所述钢球套(18)的两端平面上均开有胶圈槽(181)，所述胶圈槽(181)内安装有减震胶圈(23)。

8.根据权利要求1-7任一项所述的一种超高真空气动插板阀，其特征在于：所述球窝(22)的形状为球形弧面。