[发明专利]一种MEMS微泵膜片寿命测试装置及其测试方法有效
| 申请号： | 202010662531.2 | 申请日： | 2020-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN111795814B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 李迎吉;陈义;黄国栋;黄志辉 | 申请（专利权）人： | 无锡职业技术学院 |
| 主分类号： | G01M13/00 | 分类号： | G01M13/00;G01M7/02 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂启新 |
| 地址： | 214121 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS微泵膜片寿命测试装置及其测试方法，包括蓄压容器，其顶部设置传感器接口，侧面开设阀接口和泵接口，内部开设四通管路；四通管路的三个管口分别与传感器接口、阀接口、泵接口相通，第四管口向下贯穿蓄压容器；第四管口处的蓄压容器底面贴合膜片，膜片由压电片带动振动；传感器接口处连接压力传感器，阀接口处连接泄压支路和电磁阀，泵接口处连接补液支路和补液泵；通过控制单元控制电磁阀、补液泵工作，配合压力传感器监测，在四通管路中补充预设压力值的液体，由压电片带动膜片进行预设压力下预设次数的振动，完成寿命测试；本发明简单紧凑，使用方便，实现了微泵膜片寿命的测试，大大降低了测试周期和测试成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 膜片 寿命 测试 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡职业技术学院，未经无锡职业技术学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010662531.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
