[发明专利]一种MEMS微泵膜片寿命测试装置及其测试方法

权利要求书

1.一种MEMS微泵膜片寿命测试装置，其特征在于：包括蓄压容器（1），蓄压容器（1）顶部设置有传感器接口（11），蓄压容器（1）侧面开设有阀接口（12）和泵接口（14），蓄压容器（1）内部开设有四通管路（10）；所述四通管路（10）的第一管口与传感器接口（11）相通，四通管路（10）的第二管口与阀接口（12）相通，四通管路（10）的第三管口与泵接口（14）相通，四通管路（10）的第四管口向下贯穿至蓄压容器（1）底面；位于四通管路（10）的第四管口处的蓄压容器（1）底面贴合有膜片（6），膜片（6）将第四管口的孔口遮盖住；所述膜片（6）外底面固连有压电片（2），压电片（2）与外部电源电性连接，压电片（2）带动膜片（6）振动；

所述蓄压容器（1）的传感器接口（11）处连接有压力传感器，蓄压容器（1）的阀接口（12）处连接有泄压支路，泄压支路上安装有电磁阀；蓄压容器（1）的泵接口（14）处连接有补液支路，补液支路上安装有补液泵；所述压力传感器、电磁阀和补液泵均与控制单元电性连接；

所述四通管路（10）中容纳有液体；通过压力传感器检测四通管路（10）中容纳液体的压力，通过补液支路和补液泵对四通管路（10）中补液增压，通过泄压支路和电磁阀对四通管路（10）中排液泄压。

2.如权利要求1所述的一种MEMS微泵膜片寿命测试装置，其特征在于：所述蓄压容器（1）底面开设有第一凹槽（15），第一凹槽（15）顶平面上开设有第二凹槽（13），第二凹槽（13）的顶平面上开设有沉孔（16），所述沉孔（16）与四通管路（10）的第四管口同心，沉孔（16）与第四管口构成台阶孔。

3.如权利要求2所述的一种MEMS微泵膜片寿命测试装置，其特征在于：所述台阶孔的台阶处放置有膜片（6），膜片（6）底面压装有压板（4），压板（4）容纳于沉孔（16）内部；所述压板（4）底面压装有压电片（2），压电片（2）容纳于第二凹槽（13）中，压电片（2）顶面的端部向上延伸有凸台（21），凸台（21）向上贯穿压板（4），凸台（21）顶端与膜片（6）底面固连；所述压电片（2）底面压装有盖板（3），盖板（3）容纳于第一凹槽（15）中，盖板（3）与蓄压容器（1）固连。

4.如权利要求3所述的一种MEMS微泵膜片寿命测试装置，其特征在于：所述盖板（3）底面向上凹进于蓄压容器（1）底面；所述盖板（3）与蓄压容器（1）之间通过螺栓锁装。

5.如权利要求3所述的一种MEMS微泵膜片寿命测试装置，其特征在于：所述压板（4）外圆周面与沉孔（16）内圆周面之间嵌装有密封圈（5）。

6.如权利要求3所述的一种MEMS微泵膜片寿命测试装置，其特征在于：所述压板（4）为环形结构，压板（4）顶面与膜片（6）边缘贴合，压板（4）外圆周面与沉孔（16）的内圆周面之间存在间隙；所述凸台（21）向上贯穿压板（4）的内孔。

7.如权利要求1所述的一种MEMS微泵膜片寿命测试装置，其特征在于：所述膜片（6）的尺寸大于第四管口的孔口处的尺寸。

8.如权利要求1所述的一种MEMS微泵膜片寿命测试装置，其特征在于：所述膜片（6）与压电片（2）粘黏固连。

9.一种权利要求1所述的MEMS微泵膜片寿命测试装置的测试方法，其特征在于：包括如下步骤：

将待测试的膜片（6）与压电片（2）粘黏，将膜片（6）放置于蓄压容器（1）底面，将压电片（2）压装于膜片（6）下方的蓄压容器（1）上，将压电片（2）与外部电源电性连接；

在蓄压容器（1）传感器接口（11）处安装压力传感器，在蓄压容器（1）阀接口（12）处连接泄压支路，泄压支路上安装电磁阀，在蓄压容器（1）泵接口（14）处连接补液支路，补液支路上安装补液泵，将补液泵、电磁阀和压力传感器均与控制单元电性连接，则测试装置安装完成；

将补液支路端头放置于外部盛液容器中，由控制单元控制补液泵工作，通过补液泵向四通管路（10）中补液；在该过程中，由压力传感器实时监测四通管路（10）中液体的压力，并将监测值传输至控制单元中；

由控制单元对监测值和预设值进行比较，若监测值小于预设值，则补液泵继续工作，通过补液支路持续向四通管路（10）中补液；若监测值大于预设值，则控制单元控制电磁阀工作，由泄压支路对四通管路（10）中液体进行排液泄压；直至监测值与预设值一致，电磁阀、补液泵停止工作，补液完成；

外部电源工作，压电片（2）工作，压电片（2）带动膜片（6）振动；

当膜片（6）振动次数达到预设次数时，压电片（2）停止工作，通过泄压支路将四通管路（10）中的液体进行排液后，将压电片（2）和膜片（6）从蓄压容器（1）底部拆下，观察膜片（6）的状况，来判断其寿命的好坏，完成测试。