[发明专利]一种MEMS微泵膜片寿命测试装置及其测试方法

说明书

本发明涉及一种MEMS微泵膜片寿命测试装置及其测试方法，包括蓄压容器，其顶部设置传感器接口，侧面开设阀接口和泵接口，内部开设四通管路；四通管路的三个管口分别与传感器接口、阀接口、泵接口相通，第四管口向下贯穿蓄压容器；第四管口处的蓄压容器底面贴合膜片，膜片由压电片带动振动；传感器接口处连接压力传感器，阀接口处连接泄压支路和电磁阀，泵接口处连接补液支路和补液泵；通过控制单元控制电磁阀、补液泵工作，配合压力传感器监测，在四通管路中补充预设压力值的液体，由压电片带动膜片进行预设压力下预设次数的振动，完成寿命测试；本发明简单紧凑，使用方便，实现了微泵膜片寿命的测试，大大降低了测试周期和测试成本。

技术领域

本发明涉及技术膜片测试装置领域，尤其是一种MEMS微泵膜片寿命测试装置及其测试方法。

背景技术

现有技术中，MEMS微泵的加工工艺复杂、加工精度高、样品试制周期长、加工成本高；膜片作为MEMS微泵最核心的部分，膜片寿命的长短对MEMS微泵的寿命有着决定性的影响，因此，经常需要安装出配装有不同厚度、不同形状膜片的MEMS微泵，并对MEMS微泵进行寿命试验，以验证对应MEMS微泵膜片设计参数和工作参数的合理性。然而，MEMS微泵制作完成即不便于拆卸，安装测试效率低下，而且安装过程中还会造成膜片的损伤，极大地影响了测试工作的进展。

发明内容

本申请人针对上述现有生产技术中的缺点，提供一种结构合理的MEMS微泵膜片寿命测试装置及其测试方法，从而实现对单片膜片的寿命测试，操作方便可靠，大大降低了测试周期和测试成本，大大提高了测试工作的效率。

本发明所采用的技术方案如下：

一种MEMS微泵膜片寿命测试装置，包括蓄压容器，蓄压容器顶部设置有传感器接口，蓄压容器侧面开设有阀接口和泵接口，蓄压容器内部开设有四通管路；所述四通管路的第一管口与传感器接口相通，四通管路的第二管口与阀接口相通，四通管路的第三管口与泵接口相通，四通管路的第四管口向下贯穿至蓄压容器底面；位于四通管路的第四管口处的蓄压容器底面贴合有膜片，膜片将第四管口的孔口遮盖住；所述膜片外底面固连有压电片，压电片与外部电源电性连接，压电片带动膜片振动；

所述蓄压容器的传感器接口处连接有压力传感器，蓄压容器的阀接口处连接有泄压支路，泄压支路上安装有电磁阀；蓄压容器的泵接口处连接有补液支路，补液支路上安装有补液泵；所述压力传感器、电磁阀和补液泵均与控制单元电性连接。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述蓄压容器底面开设有第一凹槽，第一凹槽顶平面上开设有第二凹槽，第二凹槽的顶平面上开设有沉孔，所述沉孔与四通管路的第四管口同心，沉孔与第四管口构成台阶孔。

所述台阶孔的台阶处放置有膜片，膜片底面压装有压板，压板容纳于沉孔内部；所述压板底面压装有压电片，压电片容纳于第二凹槽中，压电片顶面的端部向上延伸有凸台，凸台向上贯穿压板，凸台顶端与膜片底面固连；所述压电片底面压装有盖板，盖板容纳于第一凹槽中，盖板与蓄压容器固连。

所述盖板底面向上凹进于蓄压容器底面；所述盖板与蓄压容器之间通过螺栓锁装。

所述压板外圆周面与沉孔内圆周面之间嵌装有密封圈。

所述压板为环形结构，压板顶面与膜片边缘贴合，压板外圆周面与沉孔的内圆周面之间存在间隙；所述凸台向上贯穿压板的内孔。

所述膜片的尺寸大于第四管口的孔口处的尺寸。

所述膜片与压电片粘黏固连。

所述四通管路中容纳有液体；通过压力传感器检测四通管路中容纳液体的压力，通过补液支路和补液泵对四通管路中补液增压，通过泄压支路和电磁阀对四通管路中排液泄压。

一种所述的MEMS微泵膜片寿命测试装置的测试方法，包括如下步骤：