[发明专利]一种酸性蚀刻电解再生液回用的方法在审
申请号: | 202010651932.8 | 申请日: | 2020-07-08 |
公开(公告)号: | CN113913829A | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
发明(设计)人: | 黄明安;王璇;刘军;李光辉 | 申请(专利权)人: | 四会富仕电子科技股份有限公司;上海工程技术大学 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46;C25C1/12 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 526236 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明的目的是提供一种酸性蚀刻电解再生液回用的方法,本发明将浓盐酸进行再利用,添加到再生液中促使循环系统中累积的氯化钠析出,并排出到系统以外,再生液中加入的浓盐酸又通过酸度控制的方式自动加入到蚀刻液中;水加入到再生液中降低了氯离子和比重,又通过比重控制的方式也加入到蚀刻液中;本发明实现了再生液的回用难题,没有增加化学品的成本,没有再生液的增量问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 酸性 蚀刻 电解 再生 液回用 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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