[发明专利]一种酸性蚀刻电解再生液回用的方法在审

专利信息
申请号: 202010651932.8 申请日: 2020-07-08
公开(公告)号: CN113913829A 公开(公告)日: 2022-01-11
发明(设计)人: 黄明安;王璇;刘军;李光辉 申请(专利权)人: 四会富仕电子科技股份有限公司;上海工程技术大学
主分类号: C23F1/46 分类号: C23F1/46;C25C1/12
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 526236 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明的目的是提供一种酸性蚀刻电解再生液回用的方法,本发明将浓盐酸进行再利用,添加到再生液中促使循环系统中累积的氯化钠析出,并排出到系统以外,再生液中加入的浓盐酸又通过酸度控制的方式自动加入到蚀刻液中;水加入到再生液中降低了氯离子和比重,又通过比重控制的方式也加入到蚀刻液中;本发明实现了再生液的回用难题,没有增加化学品的成本,没有再生液的增量问题。
搜索关键词: 一种 酸性 蚀刻 电解 再生 液回用 方法
【主权项】:
暂无信息
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