[发明专利]一种酸性蚀刻电解再生液回用的方法在审
| 申请号： | 202010651932.8 | 申请日： | 2020-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN113913829A | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 黄明安;王璇;刘军;李光辉 | 申请（专利权）人： | 四会富仕电子科技股份有限公司;上海工程技术大学 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C25C1/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 526236 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 酸性 蚀刻 电解 再生 液回用 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种酸性蚀刻电解再生液回用的方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1结晶的步骤：在再生液中加入浓盐酸，让氯化钠析出；
S2加水调节的步骤：在再生液中加入水；
S3回用的步骤：将析出了氯化钠的再生液通过比重添加的方式回用到蚀刻液中；或者将析出了氯化钠的再生液通过酸度控制的方式回用到蚀刻液中。
2.如权利要求1所述一种酸性蚀刻电解再生液回用的方法，其特征在于，在S1结晶的步骤中，加入浓盐酸，氯化氢的含量大于31%。
3.如权利要求1所述一种酸性蚀刻电解再生液回用的方法，其特征在于，在S1结晶的步骤中，浓盐酸与再生液的配比为1:3~3:1，优选1:1。
4.如权利要求1所述一种酸性蚀刻电解再生液回用的方法，其特征在于，在S2加水调节的步骤中，加入水的量以让再生液加入到蚀刻液中不会再次析出氯化钠，并保持电解再生系统的平衡稳定。
5.如权利要求1所述一种酸性蚀刻电解再生液回用的方法，其特征在于，S3回用的步骤：将析出了氯化钠的再生液通过比重添加的方式回用到蚀刻液中。
6.如权利要求1所述一种酸性蚀刻电解再生液回用的方法，其特征在于，S3回用的步骤：将析出了氯化钠的再生液通过酸度控制的方式回用到蚀刻液中。
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