[发明专利]声表面波滤波器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010643614.7 | 申请日： | 2020-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN111769816B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 梁圣法;张文昌;项飞斌;牛洁斌;姚志宏;李冬梅;刘明;谢常青 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/64;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种声表面波滤波器及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：步骤1：将带有纳米孔的过滤板置于掩模版与涂敷有电子抗蚀剂的压电衬底之间；步骤2：利用电子束曝光方法，将掩模版上的叉指电极掩模图形小孔成像转印到压电衬底的电子抗蚀剂上，在压电衬底上形成相对掩模版的叉指电极掩模图形缩小线宽尺寸的叉指电极图形；步骤3：对压电衬底的叉指电极图形外的裸露区域进行剥离或刻蚀；步骤4：去除电子抗蚀剂，在压电衬底上形成叉指电极，得到声表面波滤波器。本发明可以缩小器件的线宽，提高器件的中心频率，同时，所述制备方法可以实现器件的快速、大批量制备，降低加工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 滤波器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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