[发明专利]声表面波滤波器及其制备方法

说明书

一种声表面波滤波器及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：步骤1：将带有纳米孔的过滤板置于掩模版与涂敷有电子抗蚀剂的压电衬底之间；步骤2：利用电子束曝光方法，将掩模版上的叉指电极掩模图形小孔成像转印到压电衬底的电子抗蚀剂上，在压电衬底上形成相对掩模版的叉指电极掩模图形缩小线宽尺寸的叉指电极图形；步骤3：对压电衬底的叉指电极图形外的裸露区域进行剥离或刻蚀；步骤4：去除电子抗蚀剂，在压电衬底上形成叉指电极，得到声表面波滤波器。本发明可以缩小器件的线宽，提高器件的中心频率，同时，所述制备方法可以实现器件的快速、大批量制备，降低加工成本。

技术领域

本发明涉及声表面波滤波器加工领域，尤其涉及一种声表面波滤波器及其制备方法。

背景技术

声表面波滤波器在通信领域有着大量的需求。智能手机中所用到的声表面波滤波器所需要的中心频率越来越高，对应的滤波器中的叉指电极线宽越来越小。普通光刻机的线条加工能力越来越难满足需求。更加先进的光刻机及电子束直写设备非常昂贵。如何快速、低成本的制备高频声表面波滤波器是本领域研究人员需要解决的技术问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种声表面波滤波器及其制备方法，以期至少部分地解决上述提及的技术问题中的至少之一。

为了实现上述目的，本发明的技术方案包括：

作为本发明的一个方面，提供一种声表面波滤波器的制备方法，包括如下步骤：

步骤1：将带有纳米孔的过滤板置于掩模版与涂敷有电子抗蚀剂的压电衬底之间；

步骤2：利用电子束曝光方法，将掩模版上的叉指电极掩模图形小孔成像转印到所述压电衬底的电子抗蚀剂上，在所述压电衬底上形成相对所述掩模版的叉指电极掩模图形缩小线宽尺寸的叉指电极图形；

步骤3：对所述压电衬底的叉指电极图形外的裸露区域进行剥离或刻蚀；

步骤4：去除电子抗蚀剂，在所述压电衬底上形成叉指电极，得到声表面波滤波器。

作为本发明的另一个方面，还提供一种采用如上述的制备方法制备得到的声表面波滤波器。

基于上述技术方案，本发明提供的一种声表面波滤波器及其制备方法相对于现有技术，至少具有以下有益效果的其中之一或其中一部分：

(1)利用小孔成像的原理实现声表面波滤波器图形结构的转移，尤其是高频声表面波滤波器图形结构的转移，兼顾了线宽尺寸的小型化及器件制备的批量化；

(2)通过普通电子枪发出的电子束流进行曝光，电子束流面积大于掩模版的叉指电极掩模图形区域的面积，可以在不移动掩模版及电子枪的情况下一次性进行曝光，不仅减小了器件的制备成本，也降低了运行制备时间。

附图说明

图1为本发明实施例的一种高频声表面波滤波器的制备方法的流程图；

图2为本发明实施例的一种高频声表面波滤波器的制备方法结构示意图。

【附图标记说明】

1、掩模版；11、叉指电极掩模图形；2、过滤板；21、纳米孔；3、压电衬底；31、叉指电极。

具体实施方式

本发明提供了一种声表面波滤波器的制备方法，尤其是针对高频声表面波的滤波器的制备方法，其能够实现批量、低成本的制备高频声表面波滤波器。

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明作进一步的详细说明。

作为本发明的一个方面，提供一种声表面波滤波器的制备方法，包括如下步骤：

步骤1：将带有纳米孔的过滤板置于掩模版与涂敷有电子抗蚀剂的压电衬底之间；