[发明专利]MEMS传感器和电子设备有效
| 申请号： | 202010619236.9 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111818434B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 邱冠勋;周宗燐;卓彥萱 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R19/00;H04R7/04 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 魏兰 |
| 地址： | 266100 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种MEMS传感器和电子设备，MEMS传感器包括基底，所述基底设有背腔；第一振膜和第二振膜，所述第一振膜和所述第二振膜设于所述基底的同一侧，所述第一振膜与所述基底连接，至少部分所述第一振膜可振动地设于所述背腔，所述第一振膜和所述第二振膜之间形成密封腔；背极单元，至少部分所述背极单元位于密封腔内且与第一振膜、第二振膜构成电容器结构，位于所述密封腔内的所述背极单元设置有多个贯通其两侧的通孔；导热介质，所述导热介质遇热膨胀，并容置于所述密封腔内；以及加热装置，所述加热装置用于加热所述导热介质。本发明技术方案旨在保证MEMS传感器的性能的前提下，提高功能性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 传感器 电子设备 | ||
【主权项】：
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