[发明专利]MEMS传感器和电子设备

说明书

本发明公开一种MEMS传感器和电子设备，MEMS传感器包括基底，所述基底设有背腔；第一振膜和第二振膜，所述第一振膜和所述第二振膜设于所述基底的同一侧，所述第一振膜与所述基底连接，至少部分所述第一振膜可振动地设于所述背腔，所述第一振膜和所述第二振膜之间形成密封腔；背极单元，至少部分所述背极单元位于密封腔内且与第一振膜、第二振膜构成电容器结构，位于所述密封腔内的所述背极单元设置有多个贯通其两侧的通孔；导热介质，所述导热介质遇热膨胀，并容置于所述密封腔内；以及加热装置，所述加热装置用于加热所述导热介质。本发明技术方案旨在保证MEMS传感器的性能的前提下，提高功能性。

技术领域

本发明涉及电声器件技术领域，特别涉及一种MEMS传感器和应用该 MEMS传感器的电子设备。

背景技术

MEMS(Micro Electro Mechanic System，微型机电系统)麦克风是一种用微机械加工技术制作出来的电能换声器，其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。随着电子设备的小巧化、薄型化发展，MEMS传感器被越来越广泛地运用到这些设备上。

相关技术中有一种双振膜的麦克风结构，该麦克风结构的两个振膜围成了空气密封的密封腔，两个振膜之间设置有一个具有穿孔的中心背极，该中心背极位于两个振膜的密封腔中，并与两个振膜构成了差分电容器结构。振膜在声波的作用下产生振动，导致振膜和背板之间的距离发生变化，导致平板电容的电容发生改变，从而将声波信号转化为了电信号。这种结构的麦克风与传统的麦克风相比具有更高的声阻抗，声学性能较好，但是功能性单一。

以上仅用于辅助理解本发明的技术方案，并不代表承认为现有技术。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种MEMS传感器，旨在保证MEMS传感器的性能的前提下，提高功能性。

为实现上述目的，本发明提供的MEMS传感器，包括：

基底，所述基底设有背腔；

第一振膜和第二振膜，所述第一振膜和所述第二振膜设于所述基底的同一侧，所述第一振膜与所述基底连接，至少部分所述第一振膜可振动地设于所述背腔，所述第一振膜和所述第二振膜之间形成密封腔；

背极单元，至少部分所述背极单元位于密封腔内且与第一振膜、第二振膜构成电容器结构，位于所述密封腔内的所述背极单元设置有多个贯通其两侧的通孔；

导热介质，所述导热介质遇热膨胀，并容置于所述密封腔内；以及

加热装置，所述加热装置用于加热所述导热介质。

在本发明的一些实施例中，所述加热装置设于所述背腔的腔壁，并邻近所述第一振膜设置。

在本发明的一些实施例中，所述加热装置设于所述第二振膜背离所述第一振膜的一侧。

在本发明的一些实施例中，所述加热装置设于所述密封腔内，并与所述背极单元连接。

在本发明的一些实施例中，所述加热装置设于所述第一振膜。

在本发明的一些实施例中，所述加热装置设于所述第二振膜。

在本发明的一些实施例中，所述加热装置设于所述背极单元。

在本发明的一些实施例中，所述加热装置设于所述基底。

在本发明的一些实施例中，所述导热介质包括液态导热体；

且/或，所述导热介质包括气态导热体。

在本发明的一些实施例中，所述密封腔的压力P的取值范围为：0.5atm ≤P≤5atm。