[发明专利]基于频偏耗偏在线检测薄膜厚度湿度的方法在审
| 申请号： | 202010616007.1 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN111795660A | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 谢明;张杨;肖伟;贺伟;曾来荣;徐程松 | 申请（专利权）人： | 绵阳人众仁科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B15/02 | 分类号： | G01B15/02;G01N22/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 621000 四川省绵阳市涪城区*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于频偏耗偏在线检测薄膜厚度湿度的方法；其中，薄膜厚度信息计算公式如下：H=K*delta+b，其中：H代表薄膜厚度，K:代表标定后的常数，delta：代表采集器获得的频偏，b:代表标定后的常数；薄膜湿度信息计算公式如下：W=K1*ΔQ+K3*delta+C1，其中W代表含水量，K1和K3、C1代表标定后的常数，delta代表频偏，ΔQ代表耗偏；该方法具有的优点如下：1、相较于传统的测量薄膜湿度厚度的系统更加环保。2、可以同时对薄膜的湿度和厚度进行测量。3、相较于利用扫频进行测量计算得出薄膜湿度厚度而言成本更低，测量速度快。4、具有良好的测试灵敏度、稳定性、可靠性、可维护性、环境适应性及较高的抗干扰能力，可以满足工业生产的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 频偏耗偏 在线 检测 薄膜 厚度 湿度 方法 | ||
【主权项】：
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