[发明专利]基于频偏耗偏在线检测薄膜厚度湿度的方法

权利要求书

1.一种基于频偏耗偏在线检测薄膜厚度湿度的方法，其特征在于，根据测量得出的VssVsL VLS VLL计算得出频偏耗偏的具体计算方法如下：

激励信号偏差值ΔQ=θ/（Ga+α）*（α/β）* Rg；

谐振频率偏差值Delta =4*Rs*R1/β-(Rs+R1+ΔQ)^2；

其中：

α=SIGN(VLL-VSS)^2/(VSS+VSL+VLS+VLL)；

β=SQRT(VLS*VSL)；

K1，b、θ、Ga、Rg、Rs、R1为常数。

2.根据权利要求1所述的频偏耗偏快速检测方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：微波源产生稳定的微波信号；

S2：采集器产生稳定的方波信号；

S3：当方波信号为半周期高电平时，高电平方波信号接通多路复用开关至谐振腔 S端，微波信号进入谐振腔 S 输入端；

S4：腔体环形器将方波信号和微波信号扭转至谐振腔；

S5：将被测物放入谐振腔，使谐振腔谐振点发生飘移；

S6：被扰动后的电磁场通过谐振腔腔体波导和谐振腔的 S 端和 L 端波导环形器，之后分别通过各自 S 端和 L 端信号隔离器；

S7：微波信号和方波信号经过各自的 S 端和 L 端检波器，将电磁场信号转变为S 端电压信号Vss和L 端端电压信号VsL，供信号采集板进行采样；

S8：当方波信号半周期为低电平时，方波信号接通多路复用开关至谐振腔 L 端入，微波信号进入谐振腔 L 输入端，并重复S4至S6过程，将电磁场信号转变为S 端电压信号VLS和L端端电压信号L L，供信号采集板进行 AD 采样；

S9：根据测量得出的 Vss 、VsL、VLS及VLL计算得出谐振频率与激励信号偏差值。