[发明专利]基于频偏耗偏在线检测薄膜厚度湿度的方法

说明书

本发明提供一种基于频偏耗偏在线检测薄膜厚度湿度的方法；其中，薄膜厚度信息计算公式如下：H=K*delta+b，其中：H代表薄膜厚度，K:代表标定后的常数，delta：代表采集器获得的频偏，b:代表标定后的常数；薄膜湿度信息计算公式如下：W=K1*ΔQ+K3*delta+C1，其中W代表含水量，K1和K3、C1代表标定后的常数，delta代表频偏，ΔQ代表耗偏；该方法具有的优点如下：1、相较于传统的测量薄膜湿度厚度的系统更加环保。2、可以同时对薄膜的湿度和厚度进行测量。3、相较于利用扫频进行测量计算得出薄膜湿度厚度而言成本更低，测量速度快。4、具有良好的测试灵敏度、稳定性、可靠性、可维护性、环境适应性及较高的抗干扰能力，可以满足工业生产的要求。

技术领域

本发明具体涉及一种基于频偏耗偏在线检测薄膜厚度湿度的方法。

背景技术

传统的对薄膜进行厚度及湿度测量主要采用放射源的方法进行，但随着国家对环保安全的重视这种方式已经不能满足人们的需求。同时目前工业生产中不具有可以同时测量薄膜湿度和厚度的装置，目前在实验室环境下可以利用扫频的原理同时测量薄膜湿度和厚度，但这种方式耗时较长，不适用于在线生产，所以急需一种纸张厚度湿度检测方法以解决这一问题。

发明内容

本发明的目的在于针对现有技术的不足，提供一种基于频偏耗偏在线检测薄膜厚度湿度的方法，该基于频偏耗偏在线检测薄膜厚度湿度的方法可以很好地解决上述问题。

为达到上述要求，本发明采取的技术方案是：提供一种基于频偏耗偏在线检测薄膜厚度湿度的方法，该基于频偏耗偏在线检测薄膜厚度湿度的方法根据测量得出的VssVsL VLS VLL计算得出频偏耗偏的具体计算方法如下：

激励信号偏差值ΔQ=θ/（Ga+α）*（α/β）* Rg；

谐振频率偏差值Delta =4*Rs*R1/β-(Rs+R1+ΔQ)^2；

其中：

α=SIGN(VLL-VSS)^2/(VSS+VSL+VLS+VLL)；

β=SQRT(VLS*VSL)；

K1，b、θ、Ga、Rg、Rs、R1为常数。

该基于频偏耗偏在线检测薄膜厚度湿度的方法具有的优点如下：

（1）相较于传统的测量薄膜湿度厚度的方法更加环保。

（2）可以同时对薄膜的湿度和厚度进行测量。

（3）相较于利用扫频进行测量计算得出薄膜湿度厚度而言成本更低。测量速度快（大于1000k），可以满足在线测量的要求。

（4）具有良好的测试灵敏度、稳定性、可靠性、可维护性、环境适应性及较高的抗干扰能力，可以满足工业生产的要求。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，以下结合具体实施例，对 本申请作进一步地详细说明。

在以下描述中，对“一个实施例”、“实施例”、“一个示例”、“示例”等等的引用表明如此描述的实施例或示例可以包括特定特征、结构、特性、性质、元素或限度，但并非每个实施例或示例都必然包括特定特征、结构、特性、性质、元素或限度。另外，重复使用短语“根据本申请的一个实施例”虽然有可能是指代相同实施例，但并非必然指代相同的实施例。

为简单起见，以下描述中省略了本领域技术人员公知的某些技术特征。

根据本申请的一个实施例，提供一种基于频偏耗偏在线检测薄膜厚度湿度的方法，其中：

薄膜厚度信息计算公式如下：H=K2* delta +c2