[发明专利]一种加速度计封装的方法在审
申请号: | 202010613723.4 | 申请日: | 2020-06-30 |
公开(公告)号: | CN111735982A | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 朱伟琪 | 申请(专利权)人: | 上海矽睿科技有限公司 |
主分类号: | G01P1/00 | 分类号: | G01P1/00;G01P15/00 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 党蕾 |
地址: | 201800 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种加速度计封装的方法,其中,于执行一引线键合工艺之后,执行一贴装工艺,提供一金属盖固定于一基板的顶部,以将至少一个需要封装的裸晶粒密封于基板上。有益效果:引线键合工艺之后,执行贴装工艺,通过金属盖固定基板的顶部,以将至少一个需要封装的裸晶粒密封在基板上,避免现有技术中环氧树脂模压过程中产生的应力,有效提升加速度计的产品性能,降低产品成本,缩短生产周期。 | ||
搜索关键词: | 一种 加速度计 封装 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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