[发明专利]一种提高板条键合面光斑扫描测量分辨率的方法有效
| 申请号： | 202010606876.6 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN111829988B | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 张建中;马占宇;柴全;苑勇贵;王钢;王超 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工程大学 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55;G01N21/45 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种提高板条键合面光斑扫描测量分辨率的方法，本发明属于键合激光板条晶体的质量检测领域，板条键合面测量装置基于光纤白光干涉系统，通过光纤探头出射的光斑对键合面扫描，干涉探测获取键合面反射率信息，针对传统光斑检测方法分辨率受限于光斑尺寸的问题，提出利用光纤探头出射光束在轴向不同距离处的光强分布变化，进行“米”字路径光斑堆叠式扫描，在截面横向的四个角度上，实现不同距离位置处的反射率结果变化分析，有效推算出更高分辨率的反射率分布情况，同时对待测微尺寸键合面区域进行缺陷表征。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 板条 键合面 光斑 扫描 测量 分辨率 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨工程大学，未经哈尔滨工程大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010606876.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
