[发明专利]一种提高板条键合面光斑扫描测量分辨率的方法

权利要求书

1.一种提高板条键合面光斑扫描测量分辨率的方法，其特征在于：步骤如下：

步骤一：调试、校准板条键合面测量装置；

步骤二：根据已知的探头出射光束变化情况和待测键合板条的厚度尺寸，限定探头出射光束的轴向距离变化工作区间；根据待测键合板条的厚度尺寸，保证待测的键合面在探头和束腰两位置的距离之间，即为有效工作区间，在该区间光束轴向上，光强的总体分布呈现从探头出射逐渐汇聚且光斑缩小的变化；

步骤三：针对待测键合板条的键合面上的待测区域，光斑中心沿“米”字路径进行堆叠式的截面扫描；

步骤四：对扫描结果按照“米”字路径的四个角度，分别进行反射率分布连续拟合，得到四组反射率分布曲线；光斑中心路径类似于“米”字，在横向截面内呈现4个角度的交叉式扫描，光斑的连续移动伴随着键合面测量结果的连续采集；提取每个角度方向光斑移动过程的反射率测量结果拟合为一条连续曲线，在光束轴向距离不同位置处，对应可以拟合出多条曲线，这样的多条曲线结果为一组反射率测量结果；

步骤五：根据光束轴向光强的变化，得到每组反射率分布曲线的变化趋势，推算出反射率测量结果；

对每个角度的一组反射率测量结果拟合曲线进行分段，分段界限由每组反射率测量结果中各条曲线变化情况决定，尤其按照连续增大或连续减小来划分界限，对每段的反射率结果进行单独变化趋势分析，有效推算出更小范围内的反射率分布情况，得到反射率测量结果。

2.根据权利要求1所述的一种提高板条键合面光斑扫描测量分辨率的方法，其特征在于：步骤一具体是：调试机械位移控制结构的软件程序和硬件结构，保证截面横向扫描位置的精确性，并运用已知反射率的薄膜进行校准测试，即把待测键合板条换为薄膜，进行反射率测试，尤其对光束轴向不同距离位置处测量结果进行校准。

3.根据权利要求1或2所述的一种提高板条键合面光斑扫描测量分辨率的方法，其特征在于：步骤三中的待测区域指的是局部待测微尺寸区域，也即是直径小于2倍光斑直径的圆形范围内，光斑中心沿“米”字路径进行堆叠式的截面扫描是指：对待测键合板条的相同待测区域，均进行一次“米”字路径堆叠式截面扫描；“米”字路径包括四个角度，光斑沿着每个角度进行连续直线扫描。