[发明专利]一种精密加工的保证轮廓度尺寸工装在审
| 申请号： | 202010605920.1 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN111775080A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 许国庆;张艳娟 | 申请（专利权）人： | 沈阳富创精密设备有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 孙奇 |
| 地址： | 110000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明一种精密加工的保证轮廓度尺寸工装，其特征在于，主要用于加工300mm腔体产品的内侧壁结构，由于300mm反应腔是半导体领域的关键产品，主要用于气相沉积CVD、PECVD半导体制程，腔体产品结构较为复杂，装配的内侧壁轮廓度要求0.02mm以内；本工装(1)保证产品尺寸的轮廓度和平行度关键尺寸问题；(2)减少人工翻面粘胶加工内侧窗时的造成的二次装夹产品磕伤，碰伤问题；(3)使用保证产品一致性。本发明通过专用治具来解决加工产品过程中，轮廓度超差，定位不准等影响产品关键尺寸等技术难题，保证了轮廓度尺寸，从而提高生产良率，减少报废。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精密 加工 保证 轮廓 尺寸 工装 | ||
【主权项】：
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