[发明专利]一种精密加工的保证轮廓度尺寸工装

权利要求书

1.一种精密加工的保证轮廓度尺寸工装，其特征在于，主要用于加工300mm腔体产品的内侧壁结构，由于300mm反应腔是半导体领域的关键产品，主要用于气相沉积CVD、PECVD半导体制程，腔体产品结构较为复杂，装配的内侧壁轮廓度要求0.02mm以内；本工装(1)保证产品尺寸的轮廓度和平行度关键尺寸问题；(2)减少人工翻面粘胶加工内侧窗时的造成的二次装夹产品磕伤，碰伤问题；(3)使用保证产品一致性；

本工装包括：扇形条、定位销、螺钉、衬套、平垫圈、卡盘、扇形盘；

扇形盘底部设有多个卡盘，通过卡盘与加工平台连接；

扇形盘上设有多个定位孔和安装孔，扇形盘通过定位销和衬套定位布置有三个扇形条；扇形条上设有多个通孔，扇形条采用螺钉和平垫圈固定在扇形盘；扇形条通过定位环和螺钉将工件固定。