[发明专利]减反射膜及其制备方法和移动终端在审
| 申请号： | 202010585864.X | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN113832437A | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 田彪;陈志斌;张世龙 | 申请（专利权）人： | 深圳市万普拉斯科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/10;C23C14/06 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 谭露盈 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种减反射膜及其制备方法和移动终端。上述减反射膜的制备方法包括如下步骤：在基材上制备至少一个膜层单元，膜层单元包括依次层叠设置的二氧化硅层、氮化硅层和氮氧化硅层；在靶材功率为第四稳定值，氧气流量为200sccm～400sccm的条件下，在氮氧化硅层沉积二氧化硅，制备外膜层，减反射膜包括至少一层膜层单元及外膜层。采用上述方法制备得到的减反射膜的硬度达到1600HV～1800HV。 | ||
| 搜索关键词： | 减反射膜 及其 制备 方法 移动 终端 | ||
【主权项】：
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