[发明专利]用于将物理层与通过多重图案化形成的图案对齐的方法和相关联系统有效
| 申请号： | 202010565189.4 | 申请日： | 2020-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN112446186B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 细川浩平 | 申请（专利权）人： | 美光科技公司 |
| 主分类号： | G06F30/392 | 分类号： | G06F30/392;G03F9/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 王龙 |
| 地址： | 美国爱*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了用于将物理层与通过多重图案化形成的图案对齐的方法以及相关联的系统。一种方法可以包含确定用于通过多重图案化形成图案的第一层与第二层之间的未对齐向量。所述方法还可以包含基于所述第一层与所述第二层之间的所述未对齐向量计算所述图案的中心位置。进一步地，所述方法可以包含将第三层与所述图案的中心位置对齐。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 物理层 通过 多重 图案 形成 对齐 方法 相关 联系 | ||
【主权项】：
暂无信息
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