[发明专利]用于将物理层与通过多重图案化形成的图案对齐的方法和相关联系统

权利要求书

1.一种将物理层与图案对齐的方法，所述方法包括：

确定用于通过多重图案化形成图案的第一层与第二层之间的未对齐向量；

基于所述第一层与所述第二层之间的所述未对齐向量计算所述图案的中心位置；以及

将第三层与所述图案的所述中心位置对齐。

2.根据权利要求1所述的方法，其中确定所述未对齐向量包括确定包括有效线层的所述第一层与包括有效切断层的所述第二层之间的所述未对齐向量。

3.根据权利要求1所述的方法，其中计算所述图案的所述中心位置包括计算有效区域图案的中心位置。

4.根据权利要求1所述的方法，其中将所述第三层与所述图案的所述中心位置对齐包括将数位线、位触点和字线之一与所述图案的所述中心位置对齐。

5.根据权利要求1所述的方法，其中对齐包括基于两个或两个以上未对齐向量将所述第三层与所述图案的所述中心位置对齐，所述两个或两个以上未对齐向量包含所述第一层与所述第二层之间的所述未对齐向量以及所述第三层与所述第一层之间的未对齐向量和所述第三层与所述第二层之间的未对齐向量中的至少一个未对齐向量。

6.根据权利要求5所述的方法，其中基于所述两个或两个以上未对齐向量将所述第三层与所述图案的所述中心位置对齐包括：

将所述两个或两个以上未对齐向量中的每个未对齐向量乘以相关联的变换矩阵；

对乘法的乘积求和，以产生所述第三层与所述图案的所述中心位置之间的配准向量；以及

基于所述配准向量将所述第三层与所述图案的所述中心位置对齐。

7.根据权利要求1所述的方法，其中将所述第三层与所述图案的所述中心位置对齐包括计算所述第三层与所述图案的所述中心位置之间的配准向量。

8.根据权利要求1所述的方法，其中计算所述图案的所述中心位置进一步包括基于与所述第一层和所述第二层相关联的变换矩阵计算所述图案的所述中心位置，所述变换矩阵的分量是通过所述第一层的图案角度和所述第二层的图案角度中的至少一个图案角度来确定的。

9.一种将物理层与通过多重图案化形成的虚拟层对齐的方法，所述方法包括：

通过多重图案化形成虚拟层；

确定用于形成所述虚拟层的至少两个物理层之间的位移向量；

基于所述位移向量确定所述虚拟层的中心；

确定第三物理层与所述虚拟层的所述中心之间的配准向量；以及

基于所述配准向量将所述第三物理层与所述虚拟层的中心对齐。

10.根据权利要求9所述的方法，其中确定所述第三物理层与所述虚拟层的所述中心之间的所述配准向量包括基于与所述至少两个物理层和所述第三物理层相关联的至少两个可测量向量来确定所述配准向量。

11.根据权利要求9所述的方法，其中确定所述第三物理层与所述虚拟层的所述中心之间的所述配准向量包括基于两个或两个以上位移向量确定所述配准向量，所述两个或两个以上位移向量包含至少两个物理层之间的所述位移向量、所述第三物理层与所述至少两个物理层中的第一层之间的位移向量以及所述第三物理层与所述至少两个物理层中的第二层之间的位移向量。

12.根据权利要求9所述的方法，其中确定所述第三物理层与所述虚拟层的所述中心之间的所述配准向量包括基于以下确定所述配准向量：至少两个物理层之间的所述位移向量以及所述第三物理层与所述至少两个物理层中的第一层之间的位移向量和所述第三物理层与所述至少两个物理层中的第二层之间的位移向量中的至少一个位移向量。