[发明专利]一种金刚石倾斜台面异质结二极管及其制备方法在审
| 申请号： | 202010551169.1 | 申请日： | 2020-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN111739945A | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 李柳暗;王启亮;成绍恒;李红东 | 申请（专利权）人： | 中山大学;吉林大学 |
| 主分类号： | H01L29/861 | 分类号： | H01L29/861;H01L29/872;H01L29/267;H01L21/04 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 王恩远 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明的一种金刚石倾斜台面异质结二极管及其制备方法，属于半导体功率器件的技术领域。其结构为，在低阻p型金刚石衬底(1)的正面依次有p型金刚石过渡层(2)、金刚石漂移层(3)、倾斜台面(4)、凹槽结构(5)、n型氧化镓层(6)、肖特基接触电极(8)，在低阻p型金刚石单晶衬底(1)的背面有欧姆接触电极(7)。本发明利用n型氧化镓填充凹槽避免选择区域形成n型掺杂金刚石面临的难题，同时在优化倾斜角度的台面上生长氧化镓形成异质PN结型混合终端结构，终端处的PN结在正向偏置时导通提高器件电流及抗浪涌能力，反向偏置时形成耗尽区缓解边缘电场集中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 倾斜 台面 异质结 二极管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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