[发明专利]金属掩膜板在审
| 申请号： | 202010534133.2 | 申请日： | 2020-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN113802089A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 王广成;樊春雷;郑庆靓;刘通 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 上海隆天律师事务所 31282 | 代理人： | 范亚红;钟宗 |
| 地址： | 201506 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种金属掩膜板，包括：掩膜板本体及形成于掩模板本体上的多个蒸镀孔；掩膜板本体具有相对设置的玻璃面和蒸镀面，每个蒸镀孔均包括第一凹槽和第二凹槽，第一凹槽与第二凹槽均沿着掩膜板本体的厚度方向设置且相互连通，第一凹槽的其中一端与玻璃面齐平，第一凹槽的另一端与第二凹槽的其中一端相连，第二凹槽的另一端与蒸镀面齐平；其中，第一凹槽的侧壁与所述玻璃面的夹角在90°以下。在本申请提供的金属掩膜板中，通过调整蒸镀孔在玻璃面的开孔形状，避免蒸镀口的内壁遮挡有机材料，进而扩大蒸镀的有效膜宽，同时避免像素的边缘出现阴影区域，使得像素内有效发光区的蒸镀位置的公差范围更大，进而提高蒸镀的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 掩膜板 | ||
【主权项】：
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