[发明专利]金属掩膜板

权利要求书

1.一种金属掩膜板，其特征在于，包括：掩膜板本体及形成于所述掩模板本体上的多个蒸镀孔；

所述掩膜板本体具有相对设置的玻璃面和蒸镀面，所述多个蒸镀孔呈阵列方式排列并贯穿所述玻璃面和蒸镀面；

每个蒸镀孔均包括第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽与所述第二凹槽均沿着所述掩膜板本体的厚度方向设置且相互连通，所述第一凹槽的其中一端与所述玻璃面齐平，所述第一凹槽的另一端与所述第二凹槽的其中一端相连，所述第二凹槽的另一端与所述蒸镀面齐平；

其中，所述第一凹槽的侧壁与所述玻璃面的夹角在90°以下。

2.如权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，所述第一凹槽的深度在5μm以下。

3.如权利要求2所述的金属掩膜板，其特征在于，所述第一凹槽的深度在3μm以下。

4.如权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，所述掩膜板本体的厚度范围在15μm到30μm之间。

5.如权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，所述蒸镀孔的第一凹槽和第二凹槽的截面均为轴对称结构，且所述轴对称结构的对称轴与所述蒸镀孔的中心轴线重合。

6.如权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，所述第一凹槽和第二凹槽均由蚀刻成型工艺制成。

7.如权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，所述第一凹槽的侧壁与所述玻璃面的夹角范围在60°到90°之间。

8.如权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，所述第二凹槽的截面为曲线，且所述第二凹槽的侧壁与所述蒸镀面的夹角在90°以上。

9.如权利要求8所述的金属掩膜板，其特征在于，所述曲线两端的连线与所述蒸镀面所在平面之间的夹角为蒸镀角，所述蒸镀角在55°以下。

10.如权利要求1所述的金属掩膜板，其特征在于，所述蒸镀孔在玻璃面的开口尺寸小于所述蒸镀孔在蒸镀面的开口尺寸。