[发明专利]一种用于原子层沉积系统的平板式放电装置

摘要

本发明公开了一种用于原子层沉积系统的平板式放电装置，包括：金属壁，金属壁接地，金属壁包括：凹槽，凹槽设置在金属壁的上表面；第一通孔，第一通孔设置在凹槽的中心，且贯穿金属壁；金属板，金属板设置在凹槽内；石英管，石英管的底部固定设置在凹槽内，且石英管位于金属壁与金属板之间；电源接口，电源接口设置在第一通孔内，电源接口一端与射频电源电连接，另一端与金属板电连接；陶瓷件，陶瓷件设置在第一通孔内，且位于电源接口与金属壁之间；其中，陶瓷件与石英管相连接，将金属板与金属壁隔开。解决了现有技术中ALD等离子体发生系统气体离化率低，结构复杂的技术问题，达到了提高气体离化率，结构简单的技术效果。