[发明专利]一种用于原子层沉积系统的平板式放电装置

权利要求书

1.一种用于原子层沉积系统的平板式放电装置，其特征在于，所述平板式放电装置包括：

金属壁，所述金属壁接地，所述金属壁包括：

凹槽，所述凹槽设置在所述金属壁的上表面；

第一通孔，所述第一通孔设置在所述凹槽的中心，且贯穿所述金属壁；

金属板，所述金属板设置在所述凹槽内；

石英管，所述石英管的底部固定设置在所述凹槽内，且所述石英管位于所述金属壁与所述金属板之间；

电源接口，所述电源接口设置在所述第一通孔内，所述电源接口一端与射频电源电连接，另一端与所述金属板电连接；

陶瓷件，所述陶瓷件设置在所述第一通孔内，且位于所述电源接口与所述金属壁之间；

其中，所述陶瓷件与所述石英管相连接，将所述金属板与所述金属壁隔开。

2.如权利要求1所述的平板式放电装置，其特征在于，所述平板式放电装置还包括：

M个进气孔，M个所述进气孔均匀设置在所述金属板上，且M为正整数；

第一进气端，所述第一进气端设置在所述金属壁的侧壁上，所述第一进气端通过第一管道与所述进气孔连通。

3.如权利要求2所述的平板式放电装置，其特征在于，所述平板式放电装置还包括：

M个绝缘柱，所述绝缘柱固定设置在所述进气孔内，且M个绝缘柱与M个所述进气孔一一对应。

4.如权利要求1所述的平板式放电装置，其特征在于，所述平板式放电装置还包括：

加热装置，所述加热装置设置在所述金属壁的下部；

加热管，所述加热管设置在所述石英管的四周，且所述加热管与所述加热装置连接。

5.如权利要求1所述的平板式放电装置，其特征在于，所述金属板通过螺栓固定在所述电源接口上，且与所述电源接口电连接；

其中，所述螺栓的材质为金属。

6.如权利要求1所述的平板式放电装置，其特征在于，所述石英管的高度为50mm-150mm。

7.如权利要求1所述的平板式放电装置，其特征在于，所述石英管的高度为110mm。

8.如权利要求1所述的平板式放电装置，其特征在于，所述平板式放电装置还包括：

金属密封，所述金属密封设置在所述射频电源接口与所述金属壁之间。

9.如权利要求1所述的平板式放电装置，其特征在于，所述射频电源的射频功率为300瓦。

10.如权利要求2所述的平板式放电装置，其特征在于，所述平板式放电装置还包括：

第二进气端，所述第二进气端设置在所述金属壁的侧壁上，所述第二进气端通过第二管道与所述进气孔连通。