[发明专利]一种晶圆篮清洗设备进料机构及进料方法有效
| 申请号： | 202010501775.2 | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN111634687B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;李刚;童建 | 申请（专利权）人： | 无锡亚电智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;B65G49/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种晶圆篮清洗设备进料机构，包括：工作台，第一传输组件，第二传输组件，感应组件；晶圆篮底部镂空、内壁底部成型有定位槽，定位槽与固定晶圆的固定槽一一对应设置，所述感应组件包括倾斜滑动块，以及位于滑动块顶端的若干平行的感应齿和导向齿，所述导向齿在上升时，能够伸入到位于第三固定座上的晶圆篮的定位槽中，此时放置于固定槽内的晶圆会进入相邻两个感应齿的间隙中，感应齿的侧壁上设置有光电传感器，用于感应相邻的感应齿间隙内是否存在晶圆。通过上述设置，能够在进行供料前对晶圆篮内的晶圆进行一次识别。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆篮 清洗 设备 进料 机构 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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