[发明专利]一种晶圆篮清洗设备进料机构及进料方法

权利要求书

1.一种晶圆篮清洗设备进料机构，其特征在于，包括：

工作台(1)，所述工作台(1)设置有用于固定晶圆篮(9)的第一固定座(11)，第二固定座(12)和第三固定座(13)，其中第一固定座(11)，第二固定座(12)和第三固定座(13)呈“L”形布置，且第一固定座(11)与第二固定座(12)、第二固定座(12)与第三固定座(13)之间的所述工作台(1)上成型有让位槽(14)；

第一传输组件(2)，位于所述工作台(1)下方，用于将晶圆篮(9)从第一固定座(11)运输到第二固定座(12)上；第二传输组件(3)，位于所述工作台(1)下方，用于将晶圆篮(9)从第二固定座(12)运输到第三固定座(13)上；

感应组件(4)，设置在所述工作台(1)下方，位于第三固定座(13)处，用于感应晶圆篮(9)中的晶圆(92)数量；

所述晶圆篮(9)底部镂空、内壁底部成型有定位槽(93)，定位槽(93)与固定晶圆的固定槽(91)一一对应设置，所述感应组件(4)包括倾斜滑动块(40)，以及位于滑动块顶端的若干平行的感应齿(41)和导向齿(42)，所述导向齿(42)在上升时，能够伸入到位于第三固定座(13)上的晶圆篮(9)的定位槽(93)中，此时放置于固定槽(91)内的晶圆会进入相邻两个感应齿(41)的间隙中，感应齿(41)的侧壁上设置有光电传感器，用于感应相邻的感应齿(41)间隙内是否存在晶圆；感应齿（41）和导向齿（42）均设置在倾斜滑动块（40）的顶端的调整块（44）上，且调整块(44)能够在一定距离内自由滑动，自由滑动的距离为相邻两个定位槽(93)距离的四分之一。

2.根据权利要求1所述的晶圆篮清洗设备进料机构，其特征在于，第一固定座(11)，第二固定座(12)和第三固定座(13)均为成矩形布置的4个固定块，所述固定块为呈L形的挡块(51)。

3.根据权利要求2所述的晶圆篮清洗设备进料机构，其特征在于，所述挡块(51)的内壁为斜面(52)。

4.根据权利要求1所述的晶圆篮清洗设备进料机构，其特征在于，所述让位槽(14)包括两条平行的横向槽和与两条平行的横向槽连通的一条纵向槽，其中两个第一固定座(11)分别位于横向槽的一端，第二固定座(12)位于横向槽与纵向槽的连接处，第三固定座(13)位于纵向槽末端。

5.根据权利要求1所述的晶圆篮清洗设备进料机构，其特征在于，第一传输组件(2)和第二传输组件(3)均包括滑轨、滑块、直线运动驱动件、升降驱动件、顶块，滑轨沿着让位槽(14)的横向槽或者纵向槽布置，滑轨上设置有滑块，直线运动驱动件驱动滑块在滑轨运动，所述滑块上设置有顶块，所述升降驱动件驱动顶块升降以将第一固定座(11)，第二固定座(12)和第三固定座(13)上的晶圆篮(9)顶起或者放下。

6.根据权利要求1所述的晶圆篮清洗设备进料机构，其特征在于，所述晶圆篮(9)的两侧边具有若干平行的固定槽(91)，晶圆(92)被固定于固定槽(91)中。

7.一种晶圆篮清洗设备进料方法，其特征在于，使用权利要求1-6任一项所述的晶圆篮清洗设备进料机构，包括以下步骤：

S1：将晶圆篮放置于第一固定座(11)上；

S2：第一传输组件(2)动作，将晶圆篮从第一固定座(11)运输到第二固定座(12)上；

S3：第二传输组件(3)动作，将晶圆篮从第二固定座(12)运输到第三固定座(13)上；

S4：感应组件(4)的倾斜滑动块(40)运动到最高端，对晶圆篮内的晶圆进行感应识别。

8.根据权利要求7所述的晶圆篮清洗设备进料方法，其特征在于，在S4以后，感应组件(4)的倾斜滑动块(40)复位后，对第三固定座(13)上的晶圆篮进行180°旋转，而后再次通过对晶圆篮内的晶圆进行感应识别。