[发明专利]一种晶圆篮清洗设备进料机构及进料方法

说明书

本申请涉及一种晶圆篮清洗设备进料机构，包括：工作台，第一传输组件，第二传输组件，感应组件；晶圆篮底部镂空、内壁底部成型有定位槽，定位槽与固定晶圆的固定槽一一对应设置，所述感应组件包括倾斜滑动块，以及位于滑动块顶端的若干平行的感应齿和导向齿，所述导向齿在上升时，能够伸入到位于第三固定座上的晶圆篮的定位槽中，此时放置于固定槽内的晶圆会进入相邻两个感应齿的间隙中，感应齿的侧壁上设置有光电传感器，用于感应相邻的感应齿间隙内是否存在晶圆。通过上述设置，能够在进行供料前对晶圆篮内的晶圆进行一次识别。

技术领域

本申请属于清洗设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆篮清洗设备进料机构及进料方法。

背景技术

晶圆的清洗通常是先将晶圆放置晶圆篮内，再由输送机构将晶圆篮输送到各类清洗设备内进行清洗，晶圆篮清洗设备进料机构就是用于将晶圆篮输送到清洗工位上。

现有的晶圆篮清洗设备进料机构无法很好的感应晶圆篮内的晶圆情况。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种能够在清洗前对晶圆篮内的晶圆数量进行检测的晶圆篮清洗设备进料机构及进料方法。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种晶圆篮清洗设备进料机构，包括：

工作台，所述工作台设置有用于固定晶圆篮的第一固定座，第二固定座和第三固定座，其中第一固定座，第二固定座和第三固定座成“L”形布置，且第一固定座与第二固定座、第二固定座与第三固定座之间的所述工作台上成型有让位槽；

第一传输组件，位于所述工作台下方，用于将晶圆篮从第一固定座运输到第二固定座上；

第二传输组件，位于所述工作台下方，用于将晶圆篮从第二固定座运输到第三固定座上；

感应组件，设置在所述工作台下方，位于第三固定座处，用于感应晶圆篮中的晶圆数量；

所述晶圆篮底部镂空、内壁底部成型有定位槽，定位槽与固定晶圆的固定槽一一对应设置，所述感应组件包括倾斜滑动块，以及位于滑动块顶端的若干平行的感应齿和导向齿，所述导向齿在上升时，能够伸入到位于第三固定座上的晶圆篮的定位槽中，此时放置于固定槽内的晶圆会进入相邻两个感应齿的间隙中，感应齿的侧壁上设置有光电传感器，用于感应相邻的感应齿间隙内是否存在晶圆。

优选地，本发明的晶圆篮清洗设备进料机构，第一固定座，第二固定座和第三固定座均为成矩形布置的4个固定块，所述固定块为呈L形的挡块。

优选地，本发明的晶圆篮清洗设备进料机构，所述挡块的内壁为斜面。

优选地，本发明的晶圆篮清洗设备进料机构，所述让位槽包括两条平行的横向槽和与两条平行的横向槽连通的一条纵向槽，其中两个第一固定座分别位于横向槽的一端，第二固定座位于横向槽与纵向槽的连接处，第三固定座位于纵向槽末端。

优选地，本发明的晶圆篮清洗设备进料机构，第一传输组件和第二传输组件均包括滑轨、滑块、直线运动驱动件、升降驱动件、顶块，滑轨沿着让位槽的横向槽或者纵向槽布置，滑轨上设置有滑块，直线运动驱动件驱动滑块在滑轨运动，所述滑块上设置有顶块，所述升降驱动件驱动顶块升降以将第一固定座，第二固定座和第三固定座上的晶圆篮顶起或者放下。

优选地，本发明的晶圆篮清洗设备进料机构，所述晶圆篮的两侧边具有若干平行的固定槽，晶圆被固定于固定槽中。

本发明还提供一种晶圆篮清洗设备进料方法，使用上述的晶圆篮清洗设备进料机构，包括以下步骤：

S1：将晶圆篮放置于第一固定座上；

S2：第一传输组件动作，将晶圆篮从第一固定座运输到第二固定座上；