[发明专利]超高真空电子束蒸发器、电子束镀膜装置在审
| 申请号： | 202010458697.2 | 申请日： | 2020-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN111663105A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 吴向方 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 徐凯凯;谢松 |
| 地址： | 518055 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超高真空电子束蒸发器、电子束镀膜装置，其中，包括：超高真空金属密封法兰、设置在所述超高真空金属密封法兰第一侧的升降机构、设置在所述超高真空金属密封法兰第二侧的水冷屏蔽桶、位于所述水冷屏蔽桶内并依次排列的材料承载坩埚、电子发射器以及蒸发离子流检测器；所述升降机构通过高压聚焦电极杆与所述材料承载坩埚连接，并用于调整所述材料承载坩埚与所述电子发射器之间的间距；所述电子发射器与所述超高真空金属密封法兰连接，所述蒸发离子流检测器与所述水冷屏蔽桶连接。本申请通过采用水冷屏蔽桶，避免蒸镀过程中对其他部件造成干扰或影响，有利于蒸镀中对蒸发速率的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 超高 真空 电子束 蒸发器 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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