[发明专利]超高真空电子束蒸发器、电子束镀膜装置

权利要求书

1.一种超高真空电子束蒸发器，其特征在于，包括：超高真空金属密封法兰、设置在所述超高真空金属密封法兰第一侧的升降机构、设置在所述超高真空金属密封法兰第二侧的水冷屏蔽桶、位于所述水冷屏蔽桶内并依次排列的材料承载坩埚、电子发射器以及蒸发离子流检测器；所述升降机构通过高压聚焦电极杆与所述材料承载坩埚连接，并用于调整所述材料承载坩埚与所述电子发射器之间的间距；所述电子发射器与所述超高真空金属密封法兰连接，所述蒸发离子流检测器与所述水冷屏蔽桶连接。

2.根据权利要求1所述的超高真空电子束蒸发器，其特征在于，所述高压聚焦电极杆上设置有滑块，所述超高真空金属密封法兰上设置有与所述滑块配合的滑杆，所述滑块可沿所述滑杆滑动。

3.根据权利要求1所述的超高真空电子束蒸发器，其特征在于，所述水冷屏蔽桶上设置有屏蔽罩，所述屏蔽罩形成蒸发通道。

4.根据权利要求3所述的超高真空电子束蒸发器，其特征在于，所述蒸发离子流检测器为离子收集板，所述水冷屏蔽桶和所述屏蔽罩均与所述离子收集板绝缘。

5.根据权利要求3所述的超高真空电子束蒸发器，其特征在于，所述超高真空电子束蒸发器还包括：设置在所述超高真空金属密封法兰第一侧的旋转机构、与所述旋转机构连接并用于打开或关闭所述蒸发通道的电动挡板。

6.根据权利要求1所述的超高真空电子束蒸发器，其特征在于，所述升降机构包括：设置在所述超高真空金属密封法兰第一侧的金属焊接波纹管、与所述金属焊接波纹管连接的移动块、与所述移动块螺纹连接的螺杆、与所述螺杆连接的驱动件；所述高压聚焦电极杆位于所述金属焊接波纹管内并与所述移动块连接。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的超高真空电子束蒸发器，其特征在于，所述电子发射器为圆环形电子发射器。

8.根据权利要求1-6任意一项所述的超高真空电子束蒸发器，其特征在于，所述超高真空电子束蒸发器还包括：与所述电子发射器连接的陶封电极。

9.根据权利要求1-6任意一项所述的超高真空电子束蒸发器，其特征在于，所述水冷屏蔽桶采用全封闭式双层壁结构。

10.一种电子束镀膜装置，其特征在于，包括：如权利要求1-9任意一项所述的超高真空电子束蒸发器。