[发明专利]一种低压扩散炉有效
| 申请号： | 202010402807.3 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN111521020B | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 孙朋涛;桂晓波 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F27D1/18 | 分类号： | F27D1/18;F27D19/00;C30B31/18;H01L21/22;H01L21/67;E05F15/53;E05F15/40 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 周永强 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种低压扩散炉，包括基座、炉门、炉门驱动组件、控制单元，所述控制单元用于控制所述炉门驱动组件驱动所述炉门开启或关闭。该低压扩散炉还包括至少一个第一接触开关和/或至少一个第二接触开关，所述第一接触开关与基座固定连接，所述炉门驱动组件驱动所述炉门关闭时，所述炉门驱动组件接触并触发所述第一接触开关，所述第一接触开关在被触发时向所述控制单元发出关门确认信号；和/或所述第二接触开关与基座固定连接，所述炉门驱动组件驱动所述炉门开启时，所述炉门驱动组件接触并触发所述第二接触开关，所述第二接触开关在被触发时向所述控制单元发出开门确认信号。本发明提供的低压扩散炉提高了确认炉门位置的准确性和设备安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低压 扩散 | ||
【主权项】：
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