[发明专利]一种低压扩散炉有效
| 申请号： | 202010402807.3 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN111521020B | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 孙朋涛;桂晓波 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F27D1/18 | 分类号： | F27D1/18;F27D19/00;C30B31/18;H01L21/22;H01L21/67;E05F15/53;E05F15/40 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 周永强 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 低压 扩散 | ||
本发明提供一种低压扩散炉，包括基座、炉门、炉门驱动组件、控制单元，所述控制单元用于控制所述炉门驱动组件驱动所述炉门开启或关闭。该低压扩散炉还包括至少一个第一接触开关和/或至少一个第二接触开关，所述第一接触开关与基座固定连接，所述炉门驱动组件驱动所述炉门关闭时，所述炉门驱动组件接触并触发所述第一接触开关，所述第一接触开关在被触发时向所述控制单元发出关门确认信号；和/或所述第二接触开关与基座固定连接，所述炉门驱动组件驱动所述炉门开启时，所述炉门驱动组件接触并触发所述第二接触开关，所述第二接触开关在被触发时向所述控制单元发出开门确认信号。本发明提供的低压扩散炉提高了确认炉门位置的准确性和设备安全性。
技术领域
本发明涉及半导体设备领域，具体地，涉及一种低压扩散炉。
背景技术
在现有技术中，低压扩散炉的炉门开关动作通常由旋转气缸驱动完成，如图1所示，炉门驱动组件2控制炉门1的运动，炉门驱动组件2通常为气缸，其运动可被分解为旋转关闭、前进、后退、旋转打开4个分步骤。在炉门驱动组件2上安装有前限位、后限位(即气缸电磁阀沿扩散炉管5的深度方向进行前后运动的极限位置，朝向扩散炉管5为前)、开限位和关限位(即气缸电磁阀沿垂直于扩散炉管5的深度方向旋转，使炉门1与扩散炉管5对齐或错开)共4个磁控传感器用以检测炉门驱动组件2的运动状态，在炉门驱动组件2附近安装有控制单元3来控制炉门驱动组件2中电磁阀等元件的动作。
表1-1所示为根据传感器信号确定扩散炉操作的关键逻辑判断规律。其中，限位到达为1，大气状态为1，限位未到为0，真空状态为0，任意状态为X。仅当旋转气缸位于后限位和开限位时才能关闭炉门，仅当旋转气缸位于前限位、关限位且大气状态时才能打开炉门，仅当旋转气缸位于前限位和关限位时才能抽真空，其他状态都为禁止动作或非正常状态。
表1-1
序号 气缸前 气缸后 气缸开 气缸关 腔室压力 动作 1 0 1 1 0 1 可关门 2 1 X 1 X 1 不可关门 3 1 0 0 1 1 可开门 4 X X X X 0 不可开门 5 1 0 0 1 X 可抽真空
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010402807.3/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种刀豆花的制备方法
- 下一篇：一种提高出苗率和壮苗率的黄精无性繁殖方法
