[发明专利]一种低压扩散炉

权利要求书

1.一种低压扩散炉，所述低压扩散炉包括基座、扩散炉管、炉门、炉门驱动组件和控制单元，所述炉门驱动组件设置在所述基座上，所述控制单元用于控制所述炉门驱动组件驱动所述炉门沿所述扩散炉管的深度方向平移、沿垂直于所述扩散炉管的深度方向旋转，以开启或关闭所述炉门，其特征在于，

所述炉门驱动组件包括驱动机构和连接件，所述驱动机构与所述基座固定连接，所述驱动机构通过所述连接件与所述炉门连接，且能够通过所述连接件驱动所述炉门开启或关闭；

所述低压扩散炉还包括至少一个第一接触开关和至少一个第二接触开关；其中，

所述第一接触开关与所述基座固定连接，当所述炉门驱动组件驱动所述炉门关闭，且所述炉门沿所述扩散炉管的深度方向平移时，所述炉门驱动组件与所述第一接触开关接触，所述连接件能够触发所述第一接触开关，所述第一接触开关能够在被触发时向所述控制单元发出关门确认信号；

所述第二接触开关与所述基座固定连接，当所述炉门驱动组件驱动所述炉门开启，且所述炉门沿垂直于所述扩散炉管的深度方向旋转时，所述炉门驱动组件与所述第二接触开关接触，所述连接件能够触发所述第二接触开关，所述第二接触开关能够在被触发时向所述控制单元发出开门确认信号。

2.根据权利要求1所述的低压扩散炉，其特征在于，所述低压扩散炉包括扩散炉管，所述扩散炉管设置在所述基座上的安装位置，所述炉门选择性地封闭所述扩散炉管的管口；

所述低压扩散炉还包括第三接触开关，所述第三接触开关设置在所述扩散炉管的管口位置处，在所述扩散炉管位于所述安装位置时，所述扩散炉管管口处的侧壁接触并触发所述第三接触开关，所述第三接触开关能够在被触发时向所述控制单元发出管口正常信号。

3.根据权利要求2所述的低压扩散炉，其特征在于，所述低压扩散炉还包括第四接触开关，所述第四接触开关设置在所述扩散炉管的尾部，在所述扩散炉管的管口沿所述扩散炉管的长度方向运动并脱离所述安装位置时，所述扩散炉管尾部的侧壁能够接触并触发所述第四接触开关，所述第四接触开关能够在被触发时向所述控制单元发出尾部异常信号。

4.根据权利要求2或3所述的低压扩散炉，其特征在于，所述低压扩散炉还包括第一抽气管和第一压力传感器，所述第一抽气管与所述扩散炉管的尾部连通，用于抽出所述扩散炉管中的气体，所述第一压力传感器与所述第一抽气管连通，所述第一压力传感器用于检测所述第一抽气管中的气压并将检测到的第一气压值发送至所述控制单元；

所述控制单元用于在所述第一压力传感器检测到的第一气压值超出预设气压范围时，控制所述炉门驱动组件停止驱动所述炉门运动。

5.根据权利要求4所述的低压扩散炉，其特征在于，所述炉门具有炉门内腔，所述低压扩散炉还包括第二抽气管和第二压力传感器，所述第二抽气管与所述炉门内腔连通，用于抽出所述炉门内腔中的气体，所述第二压力传感器与所述第二抽气管连通，所述第二压力传感器用于检测所述第二抽气管中的气压并将检测到的第二气压值发送至所述控制单元；

所述控制单元用于在所述第二压力传感器检测到的第二气压值超出预设气压范围时，控制所述炉门驱动组件停止驱动所述炉门运动。

6.根据权利要求5所述的低压扩散炉，其特征在于，所述低压扩散炉还包括进气管，所述进气管与所述炉门的炉门内腔连通，用于向所述炉门内腔中提供气体。

7.根据权利要求5所述的低压扩散炉，其特征在于，所述控制单元还用于在接收到所述第一气压值与所述第二气压值，且二者之间的差超出预设压差范围时，控制所述炉门驱动组件停止驱动所述炉门运动。

8.根据权利要求2或3所述的低压扩散炉，其特征在于，所述低压扩散炉还包括防护板，所述防护板包括防护顶板和防护侧板，所述防护顶板与所述扩散炉管的延伸方向平行设置，所述防护侧板与所述防护顶板固定连接，且所述防护侧板与所述扩散炉管的延伸方向之间存在预设夹角，所述防护顶板位于所述扩散炉管与所述控制单元之间，所述防护侧板位于所述炉门驱动组件与所述控制单元之间。