[发明专利]用于提升靶材利用率的导磁板有效
| 申请号： | 202010381305.7 | 申请日： | 2020-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN111349903B | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 林嘉佑 | 申请（专利权）人： | 台玻太仓工程玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/34 |
| 代理公司： | 无锡松禾知识产权代理事务所(普通合伙) 32316 | 代理人： | 朱亮淞 |
| 地址： | 215400 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了用于提升靶材利用率的导磁板，包括靶材溅射结构和动力弹性机构；所述靶材溅射结构包括靶材溅射结构顶部设置的导磁板以及底部设置的磁钢体；驱动装置驱动伸缩杆带动导磁板在水平面内往复滑动；所述动力弹性机构推拉磁钢体在水平面方向上往复滑移；竖向上多个磁钢体之间的中心和所述导磁板的中心之间相对交错运动。本发明提供用于提升靶材利用率的导磁板，能有效的增大靶材的利用率，降低生产和保养的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 提升 利用率 导磁板 | ||
【主权项】：
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