[发明专利]用于提升靶材利用率的导磁板

说明书

本发明公开了用于提升靶材利用率的导磁板，包括靶材溅射结构和动力弹性机构；所述靶材溅射结构包括靶材溅射结构顶部设置的导磁板以及底部设置的磁钢体；驱动装置驱动伸缩杆带动导磁板在水平面内往复滑动；所述动力弹性机构推拉磁钢体在水平面方向上往复滑移；竖向上多个磁钢体之间的中心和所述导磁板的中心之间相对交错运动。本发明提供用于提升靶材利用率的导磁板，能有效的增大靶材的利用率，降低生产和保养的成本。

技术领域

本发明涉及溅射靶材领域，尤其涉及提升靶材利用率的导磁板。

背景技术

靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。而现有技术中镀膜线平面阴极靶材利用率低，残靶比重大，生产周期短；并且在LOW-E玻璃生产过程中平面阴极靶材的刻蚀槽为“V”字型，造成靶材利用率低，限制了生产周期，增加了生产成本和保养成本。

发明内容

发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本发明提供用于提升靶材利用率的导磁板，能有效的增大靶材的利用率，降低生产和保养的成本。

技术方案：为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

用于提升靶材利用率的导磁板，包括靶材溅射结构和动力弹性机构；所述靶材溅射结构包括靶材溅射结构顶部设置的导磁板以及底部设置的磁钢体；驱动装置驱动伸缩杆带动导磁板在水平面内往复滑动；所述动力弹性机构推拉磁钢体在水平面方向上往复滑移；竖向上多个磁钢体之间的中心和所述导磁板的中心之间相对交错运动。

进一步的，所述靶材溅射结构还包括靶材和铜背板；所述靶材溅射结构顶端设置所述靶材；所述靶材下端固设铜背板；所述铜背板上端内部挖设有多个对称的滑动槽；所述导磁板嵌合设置在滑动槽内，且所述滑动槽上下面与导磁板之间垫设有石墨箔垫片；所述导磁板远离铜背板中心的一侧固定连接伸缩杆；所述驱动装置驱动伸缩杆带动导磁板在滑动槽内往复滑动。

进一步的，若干所述磁钢体的下端固设有滑动块，所述磁钢体的上端支托接触铜背板。

进一步的，所述动力弹性机构包括固定槽、动力机构和弹簧体；所述固定槽为上端敞开的箱体结构；所述滑动块与磁钢体设置于固定槽内；所述固定槽内壁与弹簧体的一端固定连接；所述弹簧体的另一端固设有隔片；所述隔片远离弹簧体的一侧与磁钢体贴合；所述固定槽内与弹簧体相对的一侧设置动力机构；所述动力机构与弹簧体相互配合推拉滑动块与磁钢体在固定槽内滑动。

进一步的，所述动力机构包括移动板和连接柱；所述移动板设置于固定槽内；所述移动板的一侧与磁钢体的一侧面相接触碰撞，且接触端面上布置夹设有若干弹性块；所述移动板的另一侧与连接柱的一端固定连接；伸缩动力装置与连接柱的另一端驱动连接；所述伸缩动力装置驱动连接柱带动移动板推挤磁钢体和滑动块。

进一步的，多组所述驱动装置对称布置于靶材两端，且固设于固定槽上端。

有益效果：本发明的用于提升靶材利用率的导磁板能有效增加靶材刻蚀的范围，提升靶材利用率的效果；包括但不限于以下技术效果：

1)通过将导磁板设置在铜背板和靶材之间的位置上，减低了靶材刻蚀位置处水平磁场中部的强度，起到了均磁的作用，减弱了刻蚀的程度，降低了生产的成本；

2)导磁板和磁钢体之间相互交错的移动，改变了靶材的刻蚀位置，增加了刻蚀的范围，提高了靶材的利用率，降低了保养的成本。

附图说明

附图1为本发明的结构截面图；

附图2为导磁板截面图；

附图3为动力机构截面图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作更进一步的说明。