[发明专利]用于提升靶材利用率的导磁板

权利要求书

1.用于提升靶材利用率的导磁板，其特征在于：包括靶材溅射结构（1）和动力弹性机构（2）；所述靶材溅射结构（1）包括靶材溅射结构（1）顶部设置的导磁板（11）以及底部设置的磁钢体（12）；驱动装置驱动伸缩杆（3）带动导磁板（11）在水平面内往复滑动；所述动力弹性机构（2）推拉磁钢体（12）在水平面方向上往复滑移；竖向上多个磁钢体（12）之间的中心和所述导磁板（11）的中心之间相对交错运动；

所述靶材溅射结构（1）还包括靶材（13）和铜背板（14）；所述靶材溅射结构（1）顶端设置所述靶材（13）；所述靶材（13）下端固设铜背板（14）；所述铜背板（14）上端内部挖设有多个对称的滑动槽（141）；所述导磁板（11）嵌合设置在滑动槽（141）内，且所述滑动槽（141）上下面与导磁板（11）之间垫设有石墨箔垫片（142）；所述导磁板（11）远离铜背板（14）中心的一侧固定连接伸缩杆（3）；所述驱动装置驱动伸缩杆（3）带动导磁板（11）在滑动槽（141）内往复滑动；

若干所述磁钢体（12）的下端固设有滑动块（121），所述磁钢体（12）的上端支托接触铜背板（14）；

所述动力弹性机构（2）包括固定槽（21）、动力机构（22）和弹簧体（23）；所述固定槽（21）为上端敞开的箱体结构；所述滑动块（121）与磁钢体（12）设置于固定槽（21）内；所述固定槽（21）内壁与弹簧体（23）的一端固定连接；所述弹簧体（23）的另一端固设有隔片（24）；所述隔片（24）远离弹簧体（23）的一侧与磁钢体（12）贴合；所述固定槽（21）内与弹簧体（23）相对的一侧设置动力机构（22）；所述动力机构（22）与弹簧体（23）相互配合推拉滑动块（121）与磁钢体（12）在固定槽（21）内滑动；

所述动力机构（22）包括移动板（221）和连接柱（222）；所述移动板（221）设置于固定槽（21）内；所述移动板（221）的一侧与磁钢体（12）的一侧面相接触碰撞，且接触端面上布置夹设有若干弹性块（223）；所述移动板（221）的另一侧与连接柱（222）的一端固定连接；伸缩动力装置与连接柱（222）的另一端驱动连接；所述伸缩动力装置驱动连接柱（222）带动移动板（221）推挤磁钢体（12）和滑动块（121）；

多组所述驱动装置对称布置于靶材（13）两端，且固设于固定槽（21）上端。